扫描式光刻机

扫描式光刻机

参考价:面议
型号: Nikon S204B
产地: 日本
品牌: NIKON
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产品详情
Nikon S204B
Nikon S204B扫描式光刻机
光源波长248nm
分辨率优于0.18µm
主要用于4寸、6寸及8寸生产线
广泛应用于化合物半导体、MEMS、LED等领域
产品详情
主要技术指标

分辨率0.18µm
N.A.0.68
曝光光源248nm
倍率4:1
最大曝光现场25mm*33mm
对准精度

LSA:40nm
FIA:45nm




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  • 产品货期: 60天
  • 培训服务: 安装调试现场免费培训

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