Nikon S207D
Nikon S207D扫描式光刻机
光源波长248nm
分辨率优于0.11µm
主要用于8寸及12寸生产线
广泛应用于化合物半导体、MEMS、LED等领域
产品详情
主要技术指标
分辨率 | 0.11µm |
N.A. | 0.82 |
曝光光源 | 248nm |
倍率 | 4:1 |
最大曝光现场 | 26mm*33mm |
对准精度 | 20nm
|
更多服务
提供中英文软件及8"、12"设备硅片改造
常年提供所有备件、耗材
更多型号设备,欢迎致电或继续浏览我们的网站!
深圳市矢量科学仪器有限公司为您提供NIKON扫描式光刻机Nikon S207D,NIKONNikon S207D产地为日本,属于无掩模光刻机/直写光刻机,除了扫描式光刻机的参数、价格、型号、原理等信息外,还可为您提供更多无掩模光刻机/直写光刻机,客服电话,售前、售后均可联系。