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激光直写光刻机

参考价：面议

型号：	MiScan
产地：	江苏
品牌：	苏大维格
评分：

核心参数

曝光模式：投影式
产地类别：国产
分辨率： 0.5um
光源： LD405,3.6W;DPSSL 355nm，10W;DPSSL 355NM,10W（选配）
光源波长： 355nm
光强均匀性： N/A
曝光面积： 250mmX250mm

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苏大维格激光直写光刻机

产品详情

MiScan

型号：MiScan-200/MiScan-200UV/MiScan-Pro

核心参数

曝光模式：扫描式曝光

产地类别：中国

光源：355 nm/LD405/LED405（选配）

运动平台：直线电机150mmX150mm/直线电机气浮结构：300mmX300mm

图形发生器：0.95英寸（1920X1080）

环控系统：0.1℃，百级净化

灰度等级：1024阶

幅面尺寸：10”基底

数据分辨率：0.5um/0.25um/0.1um

套刻对准精度:±0.5um

背对准系统：选配

*规格参数因具体工艺差异有所不同

苏州苏大维格科技集团股份有限公司为您提供苏大维格激光直写光刻机MiScan，苏大维格MiScan产地为江苏，属于国产无掩模光刻机/直写光刻机，除了激光直写光刻机的参数、价格、型号、原理等信息外，还可为您提供苏大维格激光直写光刻机、苏大维格激光直写光刻机、苏大维格激光直写光刻机,null客服电话400-860-5168转6167，售前、售后均可联系。

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售后服务

产品货期： 240天
培训服务：安装调试现场免费培训
安装调试时间：到货后7天内
电话支持响应时间： 24小时内
是否提供维保合同：是
维修响应时间： 3天内
节假日是否提供上门服务：是
是否支持上门巡检：是
是否提供预防性维护计划：是
是否提供期间核查方案：否
是否提供免费应用支持：是
是否提供付费应用支持：否
是否提供线上售后平台：是
维修付款方式：先付款后维修
无理由退换货：不支持