原子力显微镜

NX10创新的功能

准确成像，无交叉耦合现象

·业界先进的 XYZ轴线性度，样品和探针分别由独立的柔性制导扫描器控制移动

· 低的平面偏移度 ，全程水平扫描时平面偏移量不超过1纳米

• 垂直扫描器全程伸缩时，线性度优于 0.015%

• 优化的水平扫描器 ringing 现象，科学的正向sine-scan算法

准确扫描，真正的非接触模式

· 业界先进的垂直扫描器 ，带宽超过9 kHz , 探针垂直伺服响应速度超过 62mm/sec

·在非接触模式下飞快的扫描速度

· 极低的探针磨损，能够保证长时间的高质量扫描

• 极低的样品损伤

准确测量，真正的样品形貌

· 采用业界先进的低噪声迟滞检测器测量样品形貌

• 业界先进的极小正反测量偏离量，小于0.15%

· 采用优化的散热部件，极大地降低了系统热漂移和迟滞现象

· 功能强大的先进隔音罩，舱体内部主动控温

用户工作效率

· 开放式的设计，方便更换探针和样品

· 探针预定位装夹设计 ，简单便捷的测量激光调节过程 ，具有专利的自上至下的直观观察系统

· 创新的“十秒进针”功能，探针可自动高速完成进针操作

•  24位数字电控箱 ，三组内置锁存放大器 ，具备Q- control和弹性常数校准功能