型号: | NX10 |
产地: | 韩国 |
品牌: | Park 原子力 |
评分: |
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NX10创新的功能
准确成像,无交叉耦合现象
·业界先进的 XYZ轴线性度,样品和探针分别由独立的柔性制导扫描器控制移动
· 低的平面偏移度 ,全程水平扫描时平面偏移量不超过1纳米
• 垂直扫描器全程伸缩时,线性度优于 0.015%
• 优化的水平扫描器 ringing 现象,科学的正向sine-scan算法
准确扫描,真正的非接触模式
· 业界先进的垂直扫描器 ,带宽超过9 kHz , 探针垂直伺服响应速度超过 62mm/sec
·在非接触模式下飞快的扫描速度
· 极低的探针磨损,能够保证长时间的高质量扫描
• 极低的样品损伤
准确测量,真正的样品形貌
· 采用业界先进的低噪声迟滞检测器测量样品形貌
• 业界先进的极小正反测量偏离量,小于0.15%
· 采用优化的散热部件,极大地降低了系统热漂移和迟滞现象
· 功能强大的先进隔音罩,舱体内部主动控温
用户工作效率
· 开放式的设计,方便更换探针和样品
· 探针预定位装夹设计 ,简单便捷的测量激光调节过程 ,具有专利的自上至下的直观观察系统
· 创新的“十秒进针”功能,探针可自动高速完成进针操作
• 24位数字电控箱 ,三组内置锁存放大器 ,具备Q- control和弹性常数校准功能
型号 | Park NX10 | |
扫描仪 | XY扫描仪 | 50um*50um(可选10um*10um或100um*100um) |
Z扫描仪 | 12um(可选30um) | |
形貌噪音 | <0.03nm(标准值0.02nm) | |
光学 | 物镜 | 10X(20X可选) |
电子 | ADC | 18个频道 4个高速ADC频道(50MSPS)24位ADC的X,Y和Z位置传感器 |
DAC | 12个频道 2个高速DAC频道(50MSPS)20位DAC的X,Y和Z定位3个频道的集成锁定放大器 | |
样品台 | XY平台行程 | 20mm X 20mm |
Z平台行程 | 22mm | |
聚焦平台行程 | 15mm | |
样品尺寸 | 高达50mm X 50mm,厚20mm | |
物理信息 | 外形尺寸 | 700mm(长)X800mm(宽)X1300mm(高) |
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