型号: | RT150U |
产地: | 比利时 |
品牌: | |
评分: |
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RT150U这款同类最佳的超精密旋转平台具有超低误差运动(低于20 nm)和世界一流的运动性能。无与伦比的设计融合了无与伦比的精度和准确性。如惯性导航、圆度测量系统、微观和纳米层析成像、超精密制造、半导体行业、医疗和研究设备等。
应用领域:
• 计算机断层扫描
• X-射线
• 超精密加工
• 激光加工
• 光学检查
• 半导体应用
• 医疗行业的测试系统
• 用于尺寸测量系统的运动轴
• 惯性导航
• 精密重力测量
产品规格
Rotary Stage RT150U | |
Max. axial load 最大轴负载 | 726 N |
Max. radial load 最大侧向负载 | 264 N |
Axial stiffness 轴刚性 | 242 N/μm |
Radial stiffness 侧向刚性 | 88 N/μm |
Tilt stiffness 摇摆刚性 | 204 Nm/mrad |
Radial error motion 端跳误差 | < 20 nm LSC |
Axial error motion 轴误差 | < 20 nm LSC |
Resolution分辨率 | <0.1arcsec,取决于细分比(4× ~ 20000×) |
Repeatability重复精度 | <0.5 arcsec 或者2倍分辨率 |
Air consumption 耗气量 | < 20 Nl/min |
Total mass 重量 | 15,2 kg |
Encoder 编码器 | 23600 periods |
Nominal torque 标称扭矩 | 0,5 Nm |
Peak torque 峰值扭矩 | 1,5 Nm |
Max. speed 最大速度 | 200 rpm |
Angular accuracy 角精度 | 6,9 arcsec |
Material 材料 | stainless steel |
运动控制
该旋转台可配备运动驱动器和软件。该软件提供易于编程的定位循环,自动归位程序以及与机器接口的通信。集成了压力供应失败时产生安全停止的紧急程序。此外,图形用户界面将设置时间降至最低。
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