| 型号： | GL8 MLA Gen2 |
| 产地： | 山东 |
| 品牌： | 天仁微纳 |
| 评分： |
|
工艺紫外纳米压印光刻设备200mm WLO
GL8 MLA Gen2是一种专门为晶圆级光学加工（WLO-Wafer Level Optics）开发的全幅紫外纳米压印设备，可在200mm基底面积上平行复制生产聚合物光学器件。
GL8 MLA Gen2是一种专门为晶圆级光学加工（WLO-Wafer Level Optics）开发的全幅紫外纳米压印设备，可在200mm基底面积上平行复制生产聚合物光学器件。
该设备支持从晶圆级母模具表面自动复制柔性复合工作模具，工作模具具有精度高，寿命长等特点，可以显著降低大面积纳米压印工艺中模具使用成本。内置的点胶系统、APC（主动模具基底平行控制）技术、以及自动脱模功能都保证了大面积晶圆级光学生产的精度、均匀性（TTV）与良率。同时，自动模具基底对位系统还可实现晶圆之间对位堆叠工艺（WLS-Wafer Level Stacking）。
GL8 MLA纳米压印设备适用于DOE、匀光片（Diffuser）、微透镜阵列、菲涅尔透镜等产品的研发和量产。
●经过量产验证的200mm晶圆级光学生产（WLO）设备
●APC主动模具基底平行控制技术，确保大面积晶圆压印TTV均匀性
●设备内自动复制柔性复合工作模具，降低大面积纳米压印模具使用成本
●内置自动点胶功能
●自动压印、自动曝光固化、自动脱模，工艺过程无需人工干预
●标配高功率紫外LED面光源（365nm，光强>1000mW/cm2 ），水冷冷却，特殊功率以及特殊、混合波长光源可订制，完美支持各种商用纳米压印材料
●标配设备内部洁净环境与除静电装置
●随机提供全套纳米压印工艺与材料，包括标准示范WLO等工艺流程，帮助客户零门槛达到高质量的纳米压印水平
| 兼容基底尺寸 | 2inch、100mm、150mm、200mm 特殊尺寸可以定制 | |
| 支持基底材料 | 硅片、玻璃、石英、塑料、金属等 | |
| 上下片方式 | 手动上下片 | |
| 晶圆预对位 | 机械夹持预对位，可选装光学巡边预对位 | |
| 纳米压印技术 | APC主动平行控制技术，适合大面积WLO、WLS等工艺 | |
| 压印精度 | 优于10nm* | |
| 结构深宽比 | 优于10比1* | |
| TTV控制 | 微米级精度（200mm晶圆） | |
| 紫外固化光源 | 紫外LED（365nm）面光源，光强>1000mW/cm2，水冷冷却（2000mW/cm2类型光源可选配） | |
| 设备内部环境控制 | 标配，外部环境Class 100，内部环境可达Class 10* | |
| 自动压印 | 支持 | |
| 自动脱模 | 支持 | |
| 自动工作模具复制 | 支持 | |
| 模具基底对位功能 | 自动对位（选配） |
如想了解更多产品信息，可通过仪器信息网和我们取得联系 400-860-5168转6144
相关产品
工商信息
信息已认证
关注
拨打电话
留言咨询
