型号: | GSL-1700X-SPC-2 |
产地: | 安徽 |
品牌: | 合肥科晶 |
评分: |
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产品简介:
GSL-1700X-SPC-2小型程序控温蒸发镀膜仪可对程序进行设定,并准确控制温度在200oC-1500oC(或者1200oC-~1700oC)的范围内进行变化,可蒸镀直径长达2"的薄膜样品,在对样品进行蒸发镀膜的过程中,样品台可进行旋转旋转,以获得更均匀的薄膜。控温蒸发镀膜仪应用范围广,可制备各种金属薄膜和有机物薄膜,因此被广泛用于电极的制备和有机物发光LED的制备。控温蒸发镀膜仪体积小巧,可有效节约实验室空间;操作简单,对不同材料的适应性强,因此被广泛应用于各大高校和科研院所的实验室当中。
产品型号 GSL-1700X-SPC-2小型程序控温蒸发镀膜仪 主要特点 1、已通过CE认证。 2、采用石英腔体,易于清洁和样品的放入。 3、样品台可旋转,能够使所制薄膜达到更好的均匀性。 4、采用钨丝作为发热源,温度可达到1700℃,并配有的氧化铝舟装载样品(仅1600oC以下使用,若蒸发温度大于1600oC,样品应直接放在钨丝篮中)。 5、热电偶安装在坩埚底部,以便于温度测量和控制。 6、可将设备转换到手动调节状态,内部不安装热电偶,直接采用手动调节输出电流大小,发热源温度可达2000oC,可达到对样品镀碳等实验要求。 7、可向真空腔体中通入惰性气体,对腔体进行清洗,也可通入反应气体,进行反应蒸发镀膜。 8、进气口配有针阀,用于调节进气流量。 技术参数 1、电压:AC 208V-220V 50Hz/60Hz 单相 2、功率:500W,电流顶峰为30A 3、真空腔体:石英腔体,直径?6" 4、样品台:直径?50mm;可旋转,转速5rpm;与蒸发源间距可调,调节范围60mm-100mm 5、温度:1700oC 6、热电偶:S型热偶,工作温度200oC-1500oC(可选用B型热偶,工作温度1200oC-1700oC) 7、控温精度:±1oC,数显温度控制器,可设置30段升降温程序 8、钨丝篮:2个 9、真空接口:KF40 10、真空计:数显防腐真空计PCG554,测量范围3.8×10-5-1125torr 11、进气接口:1/4NPS 产品规格 尺寸:440mm×330mm×630mm 可选配件 1、机械泵(带油污过滤器)(真空度<10-2torr,可以蒸发贵金属,如Au、Ag) 2、分子泵(可获得高真空,真空度<10-5torr,蒸发易氧化材料,如Al、Mg、Li等) 3、低真空系统 4、高真空系统 5、等离子清洗机(镀膜前对基片进行清洗,可获得更好的薄膜强度)
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