型号: | D-100S |
产地: | 广东 |
品牌: | |
评分: |
|
适用领域:
1)半导体制造工程发生的有害Gas等安全处理的吸附式 Gas 处理装置
2)适用:半导体 Dry Etch,Diffusion,Ion Implantation,Cleaning Gas,BPSG, Oxide,MOCVD,ETC
特长及特点:
a.吸附式更换费用低廉—吸附剂直接开发
b.Gas 处理效率高—高效的吸附能力
c.By—Pass Canister 设置—有害Gas正常设置
d.Canister 内部温度监控—内部加热反应监控
e.有效力的压力管理—Inlet 压力 Warning, Alarm,Interlock 装置
f.Compactly Design—安装空间占用小面积
g.System 简易化—售后服务容易化
化学吸附剂介绍:
适用:半导体 Dry Etch,Diffusion,Ion Implantation,Cleaning Gas,BPSG, Oxide,MOCVD,ETC
更多详情请致电联系:(莫先生)
相关产品
关注
拨打电话
留言咨询