白光干涉仪能做什么丨科普篇

优可测

2023/04/06 18:13
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通过前两期文章，

相信大家已初步了解白光干涉仪原理和优势。

前两期传送门↓↓

三张动图介绍主流三维显微镜原理丨科普篇 
白光干涉仪如何获得高度信息丨科普篇
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那白光干涉仪能做什么？
今天小优博士带大家了解白光干涉仪的几个经典用途。

一、超精细粗糙度测量

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（例1）玻璃镜片 0.05nm 粗糙度测量
        · 优可测白光干涉仪 NA-500拍摄



二、台阶高度

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（例2）掩模版台阶高度测量
· 优可测 白光干涉仪 EX-230 拍摄



三、形貌观察&测量

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 （例3-1）菲涅尔膜形貌测量
· 优可测 白光干涉仪 EX230 拍摄

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（例3-2）金属表面研磨后形貌观察&测量
    · 优可测 白光干涉仪 EX230 拍摄


四、不同条件下实验形貌比对&测量

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 （例4）化工材料不同浓度液滴后形貌分析
· 优可测 白光干涉仪 ER230 拍摄


五、“快速扫描”特性可配合机械手、

集成自动化设备进行在线测量


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