白光干涉仪测量台阶高度的优势丨科普篇

优可测

2023/04/06 18:14
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上两期介绍了粗糙度的概念、设备，也着重说明了白光干涉原理在粗糙度的应用优势，传送门↓↓

《如何选择粗糙度测量设备丨科普篇》

而目前半导体、3C制造、材料、精密加工等领域，

除了粗糙度，还会涉及到台阶高度测量，微观领域的台阶从几个纳米到几百微米不等。

本期，小优博士带大家一起了解白光干涉在测量台阶高度的优势。

 


精度高

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白光干涉仪精度可达亚纳米级别

 

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 图1， “镀膜台阶测量”  

（由 优可测NA-500，50X 拍摄）

 

 

多线测量  工具丰富

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快速选取比探针式更多的截面，保证测量稳定性；

功能丰富，自动测量最高最低点、平均值，统计分析。


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图2 ， “晶圆切割台阶深度”
(由 优可测EX-230，20X 拍摄）

 

 

可测高透明产品 图片

低至0.02%反射率的表面也可以轻松采集点云成像。


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图3，“超光滑玻璃镜面”

（由 优可测EX-230 ，20X 拍摄）

 

 

非接触式测量

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非接触式不会刮伤表面，

软质、尖锐产品可测。

 

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图4，“软质材料凝固实验”
（由 优可测ER-230 ，20X 拍摄）

 

  

 广视野  速度快

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倍率精度相同，可获得大视野。

以面的形式扫描，

一般在数秒钟内即可完成测量。

优可测白光干涉仪甚至可达400μm/s 扫描速度。


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