材料的输运采取了超纯的气路系统,源的切换和输入采用了多路组合阀进气技术。由于组合阀具有极小的死空间,使得源的残留量非常少,有利于生长具有陡峭界面的材料。
采用压差控制技术控制组合阀的旁路和主路之间的压力,大大降低了源的压力和浓度波动,有利于材料生长的重复性和稳定性。
采用了管道镶嵌式进气喷头,使反应源在衬底表面均匀混合并反应,大大降低了预反应的发生。
采用电阻式快速升降温加热炉。
1-3-6-3-2-7-5-0-0-1-7
深圳高真空电阻热蒸发镀膜机供应商报价《台风新闻》
高真空电子束蒸发镀膜机解决方案《台风资讯》
实验专用PECVD设备供应商《台风新闻》
实验专用LPCVD设备生产厂家《台风资讯》
相关产品
鹏城半导体 分子束外延薄膜生长设备(MBE)PC-001 分子束外延厂家
鹏城半导体 MOCVD设备 PC-008
鹏城半导体 LPCVD设备 PC-007
鹏城半导体 PECVD设备 PC-006
鹏城半导体 热丝CVD金刚石制备设备 PC-005
鹏城半导体 高真空电子束蒸发镀膜机 PC-004
鹏城半导体 高真空电阻热蒸发镀膜机 PC-003
鹏城半导体 高真空磁控溅射仪 PC-02
供应 鹏城半导体 等离子体增强化学气相沉积PECVD
供应 鹏城半导体 化学气相沉积 LPCVD设备
供应 鹏城半导体 多功能磁控溅射仪
供应 鹏城半导体 高真空电子束蒸镀机
供应 鹏城半导体 高真空电阻热蒸发镀膜机
供应 鹏城半导体 热丝CVD金刚石设备 非标定制
供应 鹏城半导体 分子束外延系统MBE
关注
拨打电话
留言咨询