北京科益虹源光电技术有限公司（以下简称“科益虹源”），成立 于 2016 年 7 月，注册资本 20160 万元。股东包括亦庄国投、中科院 微电子所、国科科仪、徐州光远、哈勃科技、核心团队等，是多元化 资本构成的国有控股公司。 科益虹源是中国唯一、全球第三家具备光刻准分子激光技术全链 条研发和产业化的公司，拥有一支涵盖光、机、电、控、测、系统、 集成等技术开发和生产制造能力的 230 余人技术及管理团队，研发生 产及办公场地面积约 17000m2，其中百级及万级洁净间约 3000 ㎡。公司业务包括国产自研光刻曝光光源产品、进口高端光源技术服 务、集成电路检测光源、特种高压电源、高端光源核心元器件等产品销售和技术服务。已搭建超过 60 个技术研究、产品研发平台，并攻克超过 80 项高端光源核心关键技术，申请专利 278 项，授权 129 项 （其中国内发明专利 112 项，国际发明专利 13 项）。已通过质量管理体系 GB/T19001（ISO 9000）认证、环境管理体系 GB/T24001（ISO 1400）认证和知识产权管理体系 GB/T29490-2013 认证。科益虹源是国家级高新技术企业，承担多项国家 02 专项重大专项任务和北京市重大项目。2016年荣获中科院科研成果转化特等奖；2018 年荣获中