型号: | CIN |
产地: | 上海 |
品牌: | 爱义信 |
评分: |
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产品应用:
适合半导体前端单晶硅制作过程中硅片及晶圆盒的存放,防止硅片的返颗粒,返雾现象; 由于普通的干燥存储柜或者氮气柜设计都为全封闭环境,且无自净功能,故内部容易积聚大量灰尘,而这些灰尘极可能粘附在存储品上。洁净柜则适合存放需要避免灰尘污染的物品
产品特性:
★4英寸超高亮数码管显示,可视距离30米,可加装氮气节约控制系统,可加装报警系统。
★无尘风机——采用进口无尘室专用FFU风机,镀铝锌板材质,铝合金叶轮,风速0.3-0.45m/s,噪音<=55dB。
★双面护网高效过滤器——过滤效率高99.99%@0.3um。
★模组化设计,温湿度显示器、控制系统、除尘系统及除静电系统均能快速更换, 保养及维修简便,大大提升维护效率。
技术参数:
材质:双镜面304不锈钢
外尺寸: 1300W*1836H*800Dmm
内尺寸: 1253W*1110H*650Dmm
除湿等级: 相对湿度可达到5%Rh以下 (配合充氮气)
洁净等级: ISO Class 2(百级) ISO Class 3(千级)
湿度显示范围: 0.1%RH-99.9%RH
湿度显示范围: -40℃-70.0℃(-9.9℃以下显示不带小数点)
温湿度显示器精度: 相对湿度±3%Rh,温度±1℃
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