重载五自由度压电平台
重载五自由度压电平台
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重载五自由度压电平台

参考价：¥80万 - 200万
型号： NP-FAPC-5011A
产地： 山东
品牌： 阿米精控
评分：
核心参数
阿米精控科技（山东）有限公司
金牌会员 丨 1年
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产品详情

       重载五自由度压电平台可实现高达35KG负载下保持纳米级运动精度，可广泛应用于大孔径干涉仪、物镜稳定器、光学对准、纳米压印、显微成像/操作、表面检测、半导体加工等。


技术特点：

  • 超大负载

  • 压电陶瓷精密设计

     

应用领域：

  • 大口径干涉仪  

  • 物镜稳像器  

  • 光学对准

  • 纳米压印  

  • 显微成像/操纵  

  • 表面检测

  • 半导体加工


规格参数：

型号
NP-FAPC-5011A
  运动轴  X，Y，Z，θX，θY
传感器类型电容式位移传感器
X/Y闭环行程100um
Z闭环行程35um
θX，θY闭环行程±150urad
X/Y分辨率＜2nm
Y分辨率＜1nm
θX，θY分辨率＜20nrad
X/Y/Z线性度0.03%
X/Y重复定位精度＜10nm
Z重复定位精度＜10nm
θX，θY重复定位精度0.1urad
平台噪声＜2nm
最大承载能力35kg
Z谐振频率@35kg＞100Hz
θX/θY谐振频率@35kg＞100Hz
带载最高工作频率10Hz
材质铝合金
质量12kg
工作温度0~50℃
尺寸Φ500X117mm  中空Φ360mm

五轴重载压电平台单页V2.jpg


阿米精控科技（山东）有限公司为您提供阿米精控重载五自由度压电平台NP-FAPC-5011A，阿米精控NP-FAPC-5011A产地为山东，属于国产位移台，除了重载五自由度压电平台的参数、价格、型号、原理等信息外，还可为您提供更多位移台,阿米精控客服电话400-860-5168转6164，售前、售后均可联系。

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售后服务
  • 产品货期： 60天
  • 培训服务： 安装调试现场免费培训
  • 安装调试时间： 到货后7天内
  • 电话支持响应时间： 48小时内
  • 是否提供维保合同： 否
  • 维修响应时间： 15天内
  • 节假日是否提供上门服务： 是
  • 核心零部件货期： 90天
  • 是否支持上门巡检： 否
  • 是否提供预防性维护计划： 否
  • 维修付款方式： 先付款后维修
  • 基本维修资料公开： 维修图纸；技术参数；维修手册
  • 无理由退换货： 不支持

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