方案摘要
方案下载| 应用领域 | 半导体 |
| 检测样本 | 光电器件 |
| 检测项目 | |
| 参考标准 | / |
光学延迟器的工作原理主要是利用光的折射和反射原理，通过改变光的传播路径长度，从而实现对光传播时间的控制。具体来说，当光通过光学延迟线时，由于光的传播路径被延长，使得光的传播时间增加，从而实现了对光的时间延迟。
光学延迟器的工作原理主要是利用光的折射和反射原理，通过改变光的传播路径长度，从而实现对光传播时间的控制。具体来说，当光通过光学延迟线时，由于光的传播路径被延长，使得光的传播时间增加，从而实现了对光的时间延迟。
超精密延迟器原理示意图
超精密延迟器由两部分组成，分别为搭载高功率直角反射棱镜的固定平台和搭载平面反射镜组件的超高精度位移台，通过位移台驱动平面反射镜沿光路方向前后移动，调节平面反射镜与直角反射棱镜的光程差，实现光传播时间的增减变化，从而获取不同的延迟时间。
阿米精控推出的阿秒分辨的超精密延迟器是一超高精度光机系统，用长行程压电滑台搭配光学组件，实现在纳米尺度上精确的延迟控制，具有阿秒级时间分辨率及大范围可调节的延迟时间。
长行程压电滑台5nm步进运动
在超精密延迟器中，光的延迟时间与光程长度直接相关。
长行程压电滑台可支持5nm级精密步进运动控制。假设光在真空中传播，其传播速度为 c≈3×10^8米/秒，5纳米位移引起的延迟时间变化可以计算为：Δt=2Δx/c
其中：
· Δx 是移动距离（5纳米 = 5×10^(-9)米）
· c 是光速
计算延迟时间变化：
Δt=3.34×10^(-17) 秒（=33.4阿秒）
长行程压电滑台可支持100mm级运动行程。100mm位移支持的延迟时间变化范围为：
最大调节：Δtmax=6.66x10^(-10)秒（= 666皮秒）
最小调节：Δtmin=3.34x10^(-17)秒（=33.4阿秒）
技术特点
· 高精度时间分辨率：
纳米位移滑台配备高精度的压电驱动运动控制系统，能够实现亚纳米级的位移分辨率控制，从而使超精密延迟器具有阿秒级时间分辨率，远超普通皮秒级光学延时器10万倍。
· 长延迟时间设计：
为了在更大范围内实现精密延时控制，引入了10厘米级的跨尺度黏滑式纳米位移平台和控制系统，极大拓展了延迟器的调节范围。
· 控制系统：
使用全自主设计的单纳米分辨的光栅编码器和高性能运动控制系统，实现高精度、高稳定性系统闭环，确保延迟器光机系统的大动态范围极限运动精度。
应用领域
可用于干涉测量、光谱学、光学传感、超快光学、量子光学、光通信、激光雷达（LiDAR）、光学采样、双频激光干涉传感器、脉冲同步、波长计等光学领域中。
文献贡献者
纳米级尺寸电子束斑测量
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