洁净室环境检测—风速风量检测介绍

一、风速风量测试介绍

在进行高效检漏、洁净度级别确认等测试之前，我们通常都应先进行风速风量的测试，以确保上述检测结果不合格时可以对其原因进行追溯性判定，同时风速风量测试也是确认洁净室是否达到设计目标的重要指标之一。无论是在国际或国内标准中，风速风量测试都被放在了洁净室必测项目中应优先进行的位置，足见其重要性。

二、检测方法

1. 单向流系统应测量风速分布

可用单向流的风速来测定单向流洁净室的性能。可以在靠近终端送风过滤器表面的位置或是在室内测量风速。方法是规定出与送风气流成直角的测量截面，然后把其分成面积相等的测量点（方格单元）

（1） 选点位置：

应该在距过滤器表面或入口截面约 150 mm ~ 300 mm 的位置测量风速。

（2） 布点数量：

测量点（方格单元）的数目很大程度取决于测量用仪器、房间基础设施参数、工艺设备的位置以及所安装过滤器单元的设计。应采用下述公式计算最少测量点（方格单元）数目：

N=√(10×A)

N 为最少测量点数目（方格单元，N 应向上约至整数）

A 为所测量面积，单位㎡

（3） 平均风速计算：

平均流速可用下述公式计算

Va  = (ΣVn) / N

其中

Va 为平均流速度，单位 m/s

ΣVn 为所测得所流速【Vn】之和，单位 m/s

Vn 为每个方格单位中心所测得的流速，单位 m/s

N 为测量流速【Vn】位置的数目

2. 非单向流系统应测量风量风量罩法测送风量

由于送风口局部气流的扰动和喷射速度产生的效应，建议采用风量罩捕集所有从终端过滤器或送风散流器流出的空气。可以用配有计量计的风罩，或是用风量罩出风的风速乘以有效面积。风量罩的固定位置应该能完全覆盖住过滤器或散流器，其表面应该靠在一个平坦的表面上，防止空气因旁流产生不精确的读数。如采用风量罩测量各个终端过滤器或送风散流器的风量，则应该在风量罩的排风端直接测量。