产品概况
Filmetrics Profilm3D和Filmetrics Profilm3D-200白光干涉仪以亚纳米级分辨率对表面形貌做出高分辨率的测量。这些设备支持垂直扫描和相移干涉测量。使用TotalFocus技术，Profilm3D可以生成令人惊叹的3D自然色彩图像，并且每个像素都在焦点上。在Profilm3D测量技术中，测量的垂直分辨率与物镜的数值孔径不相关，从而可在较大的视场中实现高分辨率测量。通过将多个视场拼接成到一个测量之中，可以进一步扩大测量面积。Profilm3D的用户界面和自动化功能简单而新颖，适用于从研发到量产等各种不同的工作环境。我们的Profilm®软件套件包括尖 端的云技术ProfilmOnline®网络服务、Android和iOS移动应用程序以及先进的Profilm桌面软件，可提供灵活的数据存储、可视化和分析解决方案。
主要功能
垂直扫描和相移干涉测量，可用于测量从纳米到毫米的表面特征
长行程范围的自动X-Y平台，非常适合绘制分布图和扫描拼接
行业领先的长压电行程范围内的自动对焦，用于扫描高度相差很多的多个表面
直观的软件套件，包括先进的Profilm桌面、采用云技术的ProfilmOnline和移动应用程序，用于灵活的数据存储、可视化和分析
TotalFocus成像，即使在高度变化大于物镜焦深的表面上，也能产生令人惊叹的真彩图像，并且每个像素都在焦点上
主要应用
台阶高度：从纳米到毫米的3D台阶高度
纹理：3D粗糙度和波纹度
形式：3D弓形和形状
真彩色：3D表面形貌的TotalFocus图像
边缘滚落：3D边缘轮廓测量
缺陷检视：3D缺陷表面形貌
工业用途
高校、研究实验室和研究所
硅和化合物半导体
精密光学和机械
医疗设备
LED：发光二极管
电力设备
MEMS：微机电系统
数据存储
汽车
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应用
台阶高度
Filmetrics Profilm3D系列轮廓仪支持从纳米级到毫米级的3D台阶高度的非接触式测量。垂直扫描干涉技术能够以纳米级的分辨率测量较大台阶高度。采用相移干涉法可以快速测量亚纳米级特征。Z-stitching干涉测量法可以将多个高分辨率扫描拼接组合成单个测量，以此对非常大的台阶进行快速测量。多种技术让用户能够量化在蚀刻、溅射、沉积、旋涂等半导体工艺中去除或沉积的材料数量。
质地：粗糙度和波纹度
Filmetrics Profilm3D系列光学轮廓仪提供3D纹理的非接触式测量，量化样品的粗糙度和波纹度。相移模式非常适合极光滑的表面。软件过滤器将测量结果分为粗糙度和波纹度分量，并计算均方根(RMS)粗糙度等参数。
形式：弓形与形状
Filmetrics Profilm3D系列轮廓仪可以测量表面的3D形状或弯曲度。该功能可用于测量透镜的曲率半径或髋关节或支架等医疗植入物的形状。
TotalFocus
Filmetrics Profilm3D系列光学轮廓仪配有TotalFocus功能，可捕获真彩色3D图像，并且每个像素都在焦点上。此功能可用于划分具有不同光学特性的材料之间的界限。
产品优势
Filmetrics® Profilm3D®和Filmetrics Profilm3D-200光学轮廓仪采用白光干涉测量(WLI)技术，是经济实用的非接触式3D表面形貌测量系统。Profilm3D系列可以测量从纳米到毫米级的表面特征，并生成高分辨率3D表面数据和TotalFocus™图像（景深等于垂直扫描距离的彩色3D图像）。Profilm3D的菜单设置简单而灵活，可进行单次多点扫描或自动多点测量，非常适合研发和量产应用。
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