型号: | Dalex-100 |
产地: | 江苏 |
品牌: | 屹东光学 |
评分: |
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气体注入系统GIS是FIB-SEM的基本配置之一,它在FIB-SEM中起到两种非常重要的作用,一种是材料沉积功能,一种是辅助刻蚀功能。 Dalex-100气体注入系统提供了截面和TEM样品制备时用于沉积保护的Pt、W和C,用于电路修补的Pt、W和SiO2 ,以及用于提高Si切割速率的XeF2。此外,它可以提供其它特殊前驱气体,用于某些材料的铣削或气体干法蚀刻。
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