纳米压痕仪

・纳⽶压痕 超微小压痕测试仪 ELIONIX-5

纳⽶压痕仪主要⽤于微纳⽶尺度薄膜材料的硬度与杨⽒模量测试，测试结果通过⼒与压⼊深度的曲线计算得 出，⽆需通过显微镜观察压痕⾯积[1]。 

・仪器介绍 

纳⽶压痕仪主要⽤于测量纳⽶尺度的硬度与弹性模量，可以⽤于研究或测试薄膜等纳⽶材料的接触刚度、蠕 变、弹性功、塑性功、断裂韧性、应⼒-应变曲线、疲劳、存储模量及损耗模量等特性。可适⽤于有机或⽆机、软质或 硬质材料的检测分析，包括PVD、CVD、PECVD薄膜，感光薄膜，彩绘釉漆，光学薄膜，微电⼦镀膜，保护性薄 膜，装饰性薄膜等等。基体可以为软质或硬质材料，包括⾦属、合⾦、半导体、玻璃、矿物和有机材料等[1]。 主要应⽤ 半导体技术(钝化层、镀⾦属、Bond Pads)；存储材料(磁盘的保护层、磁盘基底上的磁性涂层、CD的保护层)；光学 组件(接触镜头、光纤、光学刮擦保护层)；⾦属蒸镀层；防磨损涂层(TiN, TiC, DLC, 切割⼯具)；药理学(药⽚、植⼊ 材料、⽣物组织)；⼯程学(油漆涂料、橡胶、触摸屏、MEMS)等⾏业。