Alpha等离子去胶机Q235

Alpha等离子去胶机Q235

参考价:面议
型号: Q235
产地: 德国
品牌: Alpha Plasma
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核心参数
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产品详情

技术规格:

•等离子源:2.45Ghz微波等离子源,600W
•腔体    :石英.φ235mm,长260mm

           适用于Wafer最大200mm(8英寸)小批生产及实验

•外观尺寸:长460mm,宽590mm,高550mm
•处理气体:2路气体+数字MKS流量控制器
•真空腔门:抽屉式门+观察窗

•温控Wafer Chuck

•观察窗  :UV与微波屏蔽保护
•GUI 7"触摸屏,Window CE操作系统

选项:
•进口干泵系统(含相关附件)

•法拉第笼

•石英舟

信号灯塔-红黄绿三色
•额外的处理气体线路-最多至4路气体
•包装,运输


南通宏腾微电子技术有限公司为您提供Alpha PlasmaAlpha等离子去胶机Q235,Alpha PlasmaQ235产地为德国,属于进口去胶机,除了Alpha等离子去胶机Q235的参数、价格、型号、原理等信息外,还可为您提供更多去胶机,宏腾微电子设备客服电话400-860-5168转6134,售前、售后均可联系。

售后服务
  • 产品货期: 200天
  • 培训服务: 安装调试现场免费培训

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