型号: | AL8 |
产地: | 德国 |
品牌: | Alpha Plasma |
评分: |
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技术规格:
•等离子源:2.45Ghz微波等离子源,600W
•腔体 :铝.长250mm,宽250mm,深290mm,18L
•外观尺寸:长530mm,宽600mm,高550mm
•处理气体:1路气体+数字MKS流量控制器
•真空腔门:铰链门+观察窗
•观察窗 UV与微波屏蔽保护
•GUI 7"触摸屏,Window CE操作系统
选项:
•进口干泵系统(含相关附件)
•信号灯塔-红黄绿三色
•额外的处理气体线路-最多至4路气体
•旋转台-φ200mm,旋转速度可调
•ECR机构
•包装,运输
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