德国SURAGUS非接触电阻(方阻)及膜厚测量仪2525

德国SURAGUS非接触电阻(方阻)及膜厚测量仪2525

参考价:面议
型号: EddyCus® TF
产地: 德国
品牌: SURAGUS
评分:
核心参数
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产品详情

EddyCus® TF 系列 (thin-film) 是非接触式的实时测量薄膜电阻的检测设备,它利用非接触式涡旋电流检测技术。该系统也可用于表征薄膜,玻璃内部的导电层,晶圆以及金属箔片。此产品应用如下:

  • 薄膜电阻测量: 0,1 mOhm/sq to 3.000 Ohm/sq

  • 金属膜厚度测量: 5 nm to 500 microns

  • 电导率扫描绘图: 1% IACS (0,6 MS/m)

URAGUS 2525 方阻测试仪  薄膜电阻和厚度测试仪


TF lab系列产品是一款适合实验室研发或成品检测使用的薄膜面电阻(方块电阻)及薄膜厚度测量的仪器。


特点


非接触成像

高解析度成像(25 至1,000,000 点)

缺陷成像

封装层的地图


参数

 

薄膜电阻(欧姆/平方)

金属层厚度(nm、μm)

金属基板厚度(nm、μm)

各向异性

缺陷

完整性评定


应用


建筑玻璃(LowE)

触摸屏和平板显示器

OLED和LED应用

智能玻璃的应用

透明防静电铝箔

光伏

半导体

除冰和加热应用

电池和燃料电池

包装材料

 

材料


金属薄膜和栅格

导电氧化物

纳米线膜

石墨烯、CNT(碳纳米管)、石墨

打印薄膜

导电聚合物(PEDOT:PSS)

其他导电薄膜及材料


规格参数


测量技术:非接触式涡流传感器

基板:例如:薄膜、玻璃、晶圆,等等

最大扫描面积:10 inch / 254 x 254 mm(根据要求可以更大)

边缘效应修正/排除:对于标准尺寸,排除2 mm的边缘

最大样品厚度/传感器间隙:2 / 5 / 10 / 25 mm(由最厚的样本确定)


薄膜电阻的范围:

低       0.0001 - 10 Ohm / sq; 2 至 8 % 精度

标准    1 - 1,000 Ohm / sq; 2 至 8 % 精度

高       10 - 10,000 Ohm / sq; 4 至 8 % 精度


金属膜的厚度测量(例如:铝、铜):2 nm - 2 mm (与薄膜电阻一致)

扫描间距:1 / 2 / 5 / 10 mm (根据要求的其它尺寸)


每单位时间内测量点(二次形):

5分钟内10,000个测量点

30分钟内1,000,000 个测量点


扫描时间:

4 inch / 100 x 100 mm,在0.5至5分钟内(1-10mm 间距)

8 inch / 200 x 200 mm,在1.5至15分钟内(1-10mm 间距)


装置尺寸(宽/厚/深):549 x 236 x 786(836) mm  /  23.6 x 9.05 x 31.5 inch

重量: 27 kg


可用特色:

薄膜电阻成像

各向异性电阻传感器


南通宏腾微电子技术有限公司为您提供德国SURAGUS非接触电阻(方阻)及膜厚测量仪2525EddyCus® TF,SURAGUSEddyCus® TF产地为德国,属于四探针方阻测试仪,除了德国SURAGUS非接触电阻(方阻)及膜厚测量仪2525的参数、价格、型号、原理等信息外,还可为您提供更多四探针方阻测试仪,宏腾微电子设备客服电话400-860-5168转6134,售前、售后均可联系。

售后服务
  • 产品货期: 200天
  • 培训服务: 安装调试现场免费培训

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