德国SENTECHSENTECH多腔系统包括等离子刻蚀和/或沉积腔sentech

产品详情

德国Sentech 集成多腔等离子刻蚀和沉积机

高产量

等离子蚀刻和沉积腔体可以与多达两个片盒站组合，用于到200 mm晶片的高产量工艺。

研发

三到六个端口传送腔室可用于集成ICP等离子刻蚀机、RIE刻蚀机、原子层沉积系统、PECVD和ICPECVD沉积设备，以满足研发的要求。样品可以通过预真空室和/或真空片盒站加载。

SENTECH多腔系统包括等离子刻蚀和/或沉积腔体、传送腔室、预真空室或片盒站。传送腔室包括传送机械手臂，可适用于三至六个端口。可以使用多达两个片盒站来增加产量。传送腔室可以配备多种选择。

用于研发的SENTECH多腔系统通过图形用户界面控制软件操作。强大的控制软件可用于工业领域高产量的多腔系统。

南通宏腾微电子技术有限公司为您提供德国SENTECHSENTECH多腔系统包括等离子刻蚀和/或沉积腔sentech，德国SENTECHsentech产地为德国，属于进口等离子体刻蚀设备，除了SENTECH多腔系统包括等离子刻蚀和/或沉积腔的参数、价格、型号、原理等信息外，还可为您提供更多等离子体刻蚀设备,宏腾微电子设备客服电话400-860-5168转6134，售前、售后均可联系。

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售后服务

产品货期： 200天
培训服务：安装调试现场免费培训

Business information

工商信息

信息已认证

企业名称: 南通宏腾微电子技术有限公司
企业类型: 有限责任公司(自然人投资或控股)
信用代码: 91320602MACC00FA7D
成立日期: 2023年03月17日
注册资本: 100万元整
经营范围: 一般项目:技术服务、技术开发、技术咨询、技术交流、技术转让技术推广;软件开发;软件销售;人工智能基础软件开发;工业机器人安装、维修;智能机器人销售;工业机器人销售;智能机器人的研发:人工智能硬件销售;通用设备修理;电子产品销售;信息系统集成服务;集成电路销售;集成电路芯片及产品销售;集成电路设计:电子元器件零售;专业设计服务;电力电子元器件销售;光学仪器销售;仪器仪表修理;仪器仪表销售;智能控制系统集成;人工智能行业应用系统集成服务;办公设备耗材销售;计算机软硬件及辅助设备零售:机械设备销售;电子元器件与机电组件设备销售:电工仪器仪表销售;机械零件、零部件销售;电气设备修理;普通机械设备安装服务;电子、机械设备维护(不含特种设备):智能仪器仪表销售:工业自动控制系统装置销售;信息技术咨询服务;信息咨询服务(不含许可类信息咨询服务);办公设备销售;高速精密齿轮传动装置销售;工业设计服务;互联网销售(除销售需要许可的商品):金属制品销售:电机及其控制系统研发:微特电机及组件销售;五金产品零售,日用百货销售(除依法须经批准的项目外，凭营业执照依法自主开展经营活动)

型号：	sentech
产地：	德国
品牌：	德国SENTECH
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