产品详情

Q 240

典型应用：等离子去胶，适合大批量生产，也适合于研发、实验室和小批量生产。• 去除光刻胶• 干刻或湿刻处理前或后• SU-8或其他环氧基树脂• MEMS制造中去除牺牲层

技术规格：

•等离子源：2.45Ghz微波等离子源，1200W
•腔体：石英.φ240mm，长460mm，21L

适用于Wafer最大200mm（8英寸）批量生产

•外观尺寸：长760mm，宽775mm，高775mm
•处理气体：3路气体+数字MKS流量控制器
•真空腔门：抽屉式门+观察窗

•温控Wafer Chuck

•观察窗：UV与微波屏蔽保护
•GUI 10.4"触摸屏，Window CE操作系统

选项：
•进口干泵系统（含相关附件）

•法拉第笼

•石英舟

•信号灯塔-红黄绿三色
•额外的处理气体线路-最多至4路气体
•包装，运输

Q 240

技术规格：

•等离子源：2.45Ghz微波等离子源，1200W
•腔体：石英.φ240mm，长460mm，21L

适用于Wafer最大200mm（8英寸）批量生产

•外观尺寸：长760mm，宽775mm，高775mm
•处理气体：3路气体+数字MKS流量控制器
•真空腔门：抽屉式门+观察窗

•温控Wafer Chuck

•观察窗：UV与微波屏蔽保护
•GUI 10.4"触摸屏，Window CE操作系统

选项：
•进口干泵系统（含相关附件）

•法拉第笼

•石英舟

•信号灯塔-红黄绿三色
•额外的处理气体线路-最多至4路气体
•包装，运输

Q 240

技术规格：

•等离子源：2.45Ghz微波等离子源，1200W
•腔体：石英.φ240mm，长460mm，21L

适用于Wafer最大200mm（8英寸）批量生产

•外观尺寸：长760mm，宽775mm，高775mm
•处理气体：3路气体+数字MKS流量控制器
•真空腔门：抽屉式门+观察窗

•温控Wafer Chuck

•观察窗：UV与微波屏蔽保护
•GUI 10.4"触摸屏，Window CE操作系统

选项：
•进口干泵系统（含相关附件）

•法拉第笼

•石英舟

•信号灯塔-红黄绿三色
•额外的处理气体线路-最多至4路气体
•包装，运输

Q 240

技术规格：

•等离子源：2.45Ghz微波等离子源，1200W
•腔体：石英.φ240mm，长460mm，21L

适用于Wafer最大200mm（8英寸）批量生产

•外观尺寸：长760mm，宽775mm，高775mm
•处理气体：3路气体+数字MKS流量控制器
•真空腔门：抽屉式门+观察窗

•温控Wafer Chuck

•观察窗：UV与微波屏蔽保护
•GUI 10.4"触摸屏，Window CE操作系统

选项：
•进口干泵系统（含相关附件）

•法拉第笼

•石英舟

•信号灯塔-红黄绿三色
•额外的处理气体线路-最多至4路气体
•包装，运输

Q 240

技术规格：

•等离子源：2.45Ghz微波等离子源，1200W
•腔体：石英.φ240mm，长460mm，21L

适用于Wafer最大200mm（8英寸）批量生产

•外观尺寸：长760mm，宽775mm，高775mm
•处理气体：3路气体+数字MKS流量控制器
•真空腔门：抽屉式门+观察窗

•温控Wafer Chuck

•观察窗：UV与微波屏蔽保护
•GUI 10.4"触摸屏，Window CE操作系统

选项：
•进口干泵系统（含相关附件）

•法拉第笼

•石英舟

•信号灯塔-红黄绿三色
•额外的处理气体线路-最多至4路气体
•包装，运输

南通宏腾微电子技术有限公司为您提供Alpha PlasmaALPHA 等离子去胶机Q240，Alpha PlasmaQ240产地为德国，属于进口去胶机，除了ALPHA 等离子去胶机Q240的参数、价格、型号、原理等信息外，还可为您提供更多去胶机,宏腾微电子设备客服电话400-860-5168转6134，售前、售后均可联系。

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售后服务

产品货期： 200天
培训服务：安装调试现场免费培训

Business information

工商信息

信息已认证

企业名称: 南通宏腾微电子技术有限公司
企业类型: 有限责任公司(自然人投资或控股)
信用代码: 91320602MACC00FA7D
成立日期: 2023年03月17日
注册资本: 100万元整
经营范围: 一般项目:技术服务、技术开发、技术咨询、技术交流、技术转让技术推广;软件开发;软件销售;人工智能基础软件开发;工业机器人安装、维修;智能机器人销售;工业机器人销售;智能机器人的研发:人工智能硬件销售;通用设备修理;电子产品销售;信息系统集成服务;集成电路销售;集成电路芯片及产品销售;集成电路设计:电子元器件零售;专业设计服务;电力电子元器件销售;光学仪器销售;仪器仪表修理;仪器仪表销售;智能控制系统集成;人工智能行业应用系统集成服务;办公设备耗材销售;计算机软硬件及辅助设备零售:机械设备销售;电子元器件与机电组件设备销售:电工仪器仪表销售;机械零件、零部件销售;电气设备修理;普通机械设备安装服务;电子、机械设备维护(不含特种设备):智能仪器仪表销售:工业自动控制系统装置销售;信息技术咨询服务;信息咨询服务(不含许可类信息咨询服务);办公设备销售;高速精密齿轮传动装置销售;工业设计服务;互联网销售(除销售需要许可的商品):金属制品销售:电机及其控制系统研发:微特电机及组件销售;五金产品零售,日用百货销售(除依法须经批准的项目外，凭营业执照依法自主开展经营活动)

型号：	Q240
产地：	德国
品牌：	Alpha Plasma
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