型号: | NS3500 |
产地: | 韩国 |
品牌: | Nanoscope system |
评分: |
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NS3500三维激光共聚焦显微镜
NS-3500是一种可靠的三维(3D)测量高速共焦激光扫描显微镜(CLSM)。通过快速光学扫描模块和信号处理算法实现实时共焦显微图像。在测量和检测微观三维结构,如半导体晶片,FPD产品,MEMS设备,玻璃基板,材料表面等方面拥有*的解决方案。
Features & Benefits(性能及优势):
高分辨无损伤光学3D测量 自动倾斜补偿
实时共焦成像 简单的数据分析模式
多种光学变焦 双Z扫描
大范围拼接 半透明基材的特征检测
实时CCD明场和共聚焦成像 无样品准备
自动聚焦
Software (软件):
Application field(应用领域):
NS-3500是测量低维材料的有前途的解决方案。
可测量微米和亚微米结构的高度,宽度,角度,面积和体积,例如
-半导体:IC图形,凹凸高度,线圈高度,缺陷检测,CMP工艺
- FPD产品:触摸屏屏幕检测,ITO图案,LCD柱间距高度
- MEMS器件:结构三维轮廓,表面粗糙度,MEMS图形
-玻璃表面:薄膜太阳能电池,太阳能电池纹理,激光图案
-材料研究:模具表面检测,粗糙度,裂纹分析
Specification (规格):
精细和长距离扫描仪的双重扫描模式仅适用于NS-3500-S(单镜头类型)。
注1:精细扫描由压电执行器(PZT)执行。
注2 :以100×/ 0.95物镜对标准样品(步长1μm)进行100次测量。
注 3 :以100×/ 0.95物镜对标准样品(5μm间距)进行100次测量。
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