托托 无掩膜光刻机 TTT-07-UV Litho-ACA Master

托托 无掩膜光刻机 TTT-07-UV Litho-ACA Master

参考价:¥1
型号: TTT-07-UV Litho-ACA Master
产地: 江苏
品牌: 托托
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产品详情

ACA Master无掩膜光刻机是一款高精度、高效率的光刻设备,其主要亮点如下:

1. 特征尺寸0.4μm:ACA Master无掩膜光刻机采用了先进的曝光技术,实现了0.4μm的超高精度特征尺寸,为半导体、MEMS、生物芯片等领域的研究和生产提供了强大的支持。

2. 6英寸光刻面积:该设备支持6英寸晶圆的全面积光刻,适用于多种尺寸和形状的基板,具有较高的通用性。

3. 扫描光刻/步进光刻可切换:ACA Master无掩膜光刻机具备扫描光刻和步进光刻两种模式,可根据实际需求进行切换。扫描光刻模式适用于大面积、高效率的生产;步进光刻模式则适用于小面积、高精度的研究。

4. 无掩膜光刻技术:与传统光刻机相比,ACA Master无掩膜光刻机摒弃了掩膜板,直接在基板上进行曝光。无掩膜光刻技术省去了掩膜板制作环节,降低了生产成本,缩短了研发周期。无掩膜光刻机可根据设计图案实时调整曝光参数,实现快速迭代和优化。无掩膜光刻技术可实现任意形状的图案曝光,适用于复杂结构的研究和生产。

ACA Master无掩膜光刻机采用模块化设计,集成了曝光、对位、检测等多个功能,占地面积小,操作简便。设备具备完善的自动化控制系统,可实现对曝光参数、对位精度等关键指标的实时监控和调整,降低人工干预,提高生产效率。ACA Master无掩膜光刻机支持多种类型的基板和光刻胶,适用于不同领域的研究和生产需求。设备采用节能型光源和优化设计,降低了能耗,减少了对环境的影响。

ACA Master无掩膜光刻机凭借其优异的性能和广泛的应用前景,为我国半导体、MEMS、生物芯片等领域的发展提供了有力支持。

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售后服务
  • 产品货期: 180天
  • 培训服务: 安装调试现场免费培训

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