NS3500三维激光共聚焦显微镜
NS-3500是一种可靠的三维(3D)测量高速共焦激光扫描显微镜(CLSM)。通过快速光学扫描模块和信号处理算法实现实时共焦显微图像。在测量和检测微观三维结构,如半导体晶片,FPD产品,MEMS设备,玻璃基板,材料表面等方面拥有*的解决方案。
Features & Benefits(性能及优势):
高分辨无损伤光学3D测量 自动倾斜补偿
实时共焦成像 简单的数据分析模式
多种光学变焦 双Z扫描
大范围拼接 半透明基材的特征检测
实时CCD明场和共聚焦成像 无样品准备
自动聚焦
Software (软件):
Application field(应用领域):
NS-3500是测量低维材料的有前途的解决方案。
可测量微米和亚微米结构的高度,宽度,角度,面积和体积,例如
-半导体:IC图形,凹凸高度,线圈高度,缺陷检测,CMP工艺
- FPD产品:触摸屏屏幕检测,ITO图案,LCD柱间距高度
- MEMS器件:结构三维轮廓,表面粗糙度,MEMS图形
-玻璃表面:薄膜太阳能电池,太阳能电池纹理,激光图案
-材料研究:模具表面检测,粗糙度,裂纹分析
Specification (规格):
Model | Microscope NS-3500 | 备注 |
| Controller NS-3500E |
物镜倍率 | 10x | 20x | 50x | 100x | 150x |
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观察/ 测量范围 | 水平 (H): μm | 1400 | 700 | 280 | 140 | 93 |
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垂直 (V): μm | 1050 | 525 | 210 | 105 | 70 |
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工作范围: mm | 16.5 | 3.1 | 0.54 | 0.3 | 0.2 |
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数值孔径(N.A.) | 0.30 | 0.46 | 0.80 | 0.95 | 0.95 |
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光学变焦 | x1 to x6 |
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总放大倍率 | 178x to 26700x |
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观察/测量光学系统 | 针孔共聚焦光学系统 |
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高度测量 | 测量扫描范围 | 精细扫描 : 400 μm (and/or) 长扫描 : 10 mm [NS-3500-S] | 注 1 |
长扫描 : 10mm [NS-3500-T] |
显示分辨率 | 0.001 μm |
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重复率 σ | 0.010 μm | 注 2 |
宽度测量 | 显示分辨率 | 0.001 μm |
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重复率 3σ | 0.02 μm | 注 3 |
帧记忆 | 像素 | 1024x1024, 1024x768, 1024x384, 1024x192, 1024x96 |
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单色图像 | 12 bit |
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彩色图像 | 8-bit for RGB each |
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高度测量 | 16 bit |
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帧速率 | 表面扫描 | 20 Hz to 160 Hz |
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线扫描 | ~8 kHz |
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自动功能 | 自动增益 |
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激光共焦测量光源 | 波长 | 405nm |
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输出 | ~2mW |
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激光等级 | Class 3b |
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激光接收元件 | PMT (光电倍增管) |
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光学观察光源 | 灯 | 10W LED |
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光学观察照相机 | 成像元件 | 1/2” 彩色图像 CCD 传感器 |
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记录分辨率 | 640x480 |
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自动调整 | 增益, 快门速度, White balance |
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数据处理单元 | PC |
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电源 | 电压 | 100 to 240 VAC, 50/60 Hz |
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电流 | 500 VA max. |
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重量 | 显微镜 | Approx. ~50 kg (Measuring head unit : ~12 kg) |
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控制器 | ~8 kg |
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隔振系统 | 电子隔振器 | Option |
精细和长距离扫描仪的双重扫描模式仅适用于NS-3500-S(单镜头类型)。
注1:精细扫描由压电执行器(PZT)执行。
注2 :以100×/ 0.95物镜对标准样品(步长1μm)进行100次测量。
注 3 :以100×/ 0.95物镜对标准样品(5μm间距)进行100次测量。
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