日立新型台式电镜TM3030在低加速电压成像中的优异表现
低加速电压成像在扫描电镜成像中有着重要的作用。采用低加速电压成像,低能电子束受到散射的扩散区域小,相互作用区接近表面,有利于表面精细形貌成像。对于某些热敏或导电性能差的样品,如半导体和器件、合成纤维、溅射或氧化薄膜、纸张、动植物组织、高分子材料等,有时不允许进行导电处理,而要求直接观察,采用低加速电压成像可以减小或消除此类样品的荷电效应同时减小电子束辐照损伤。下图为氧化锌样品在5KV和15KV下的图像对比,由图像可知,在5KV低加速电压下,样品表面细节特征清晰,有利于表面精细形貌的观察。
近年来各扫描电镜厂商推出的大型落地式电镜都具备低加速电压的操作功能。但低加速电压成像受到空间电荷效应、电子光学系统像差和杂散磁场的影响,往往图像分辨率低,图像质量差。目前市面上的台式扫描电镜的低加速电压成像功能由于受到上述几个因素的影响,成像效果不理想,阻碍了台式扫描电镜对样品表面精细形貌的观察。
日立凭借其在台式扫描电镜研发领域的优势,推出新型台式扫描电镜TM3030,率先采用更优化的电子光学系统,提供了一个三级“5kv mode”模式,分别在低,中,高三种倍率观察下,调整束斑大小和束流比例,满足不同观察倍率的观察要求。使样品在低加速电压下的图像分辨率提高,图像质量得到优化。下图为磁头和报纸在5KV低加速电压下优化前与优化后图像对比,由图像质量可知,TM3030台式电镜在低加速电压成像观察中图像分辨率和图像质量都有了很大的提高,有利于样品表面结构的观察。
TM3030 会在天美展台展出,并现场演示做样,欢迎您前来关注。
时间:2013.10-23-10.26
地址:北京展览馆
天美展台:2090-2093,2020-2027(2号馆主席台旁)
公司介绍:
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