电子束加热控制器研制

成果名称

电子束加热控制器

单位名称

中科院物理研究所

联系人

郇庆

联系邮箱

qhuan_uci@yahoo.com

成果成熟度

□正在研发  □已有样机  □通过小试  □通过中试  √可以量产

合作方式

√技术转让   √技术入股   □合作开发  √其他

成果简介：
   

    电子束加热是实验中经常用到的样品加热、蒸发和处理方式，加热中需要给灯丝提供电流、提供所需的高压电源甚至还需要束流检测和反馈控制。该电子束加热控制器集成了电子束加热所需的全部功能，可以在手动、恒压、恒发射电流、恒加热功率以及束流反馈等多种模式下工作。采用ARM为核心的主控系统和5.6寸触摸液晶屏，操作简便、界面友好。具备以太网口、USB口等多种数字接口，可实现数据存储输出、固件的远程更新和远程故障诊断。目前该设备已在国内外多家单位进行了尝试性推广，包括中科院物理所、清华大学、北京大学、复旦大学、中国科技大学、武汉物数所、美国伊利诺伊大学芝加哥分校等，反响很好。其主要技术指标为：
          最大输出功率:                  250W
          输出电压范围：                 0~2KV
          输出电流范围：                 0~125mA
          灯丝电流：                     0~3A
          工作模式:                      手动/自动（恒压、恒发射电流、恒加热功率、恒束流）
          束流检测范围:                  100pA~1mA 最小分辨率为1pA  

应用前景：
     主要用于电子束加热样品台、电子束加热蒸发源等装置，也可单独作为手动高压电源使用。应用范围广，估计每年国内市场需求在百套以上。

知识产权及项目获奖情况：
发明专利：201410527768.4
          201510220859.8