利用日立场发射扫描电镜SU8200观察纳米柱

       纳米柱（Nanopillar)是纳米结构领域内一种新出现的技术。纳米直径的结构共同组合成点阵，它们是一种由人工设计而成的超材料。纳米柱有许多应用，主要应用有：1.高效太阳板；2.高分辨细胞分析；3.抗细菌表面。

       上图是用SU8200拍摄的纳米柱微观结构图片，纳米柱的微观结构是研究其光学性能的基础。经过化学刻蚀后，在Si片上的纳米柱结构清晰可见，顶端的锥形点为材料Au，为了提高材料的性能在表面镀了一层Ag。右图是用SEM“鸟瞰图”功能观测的直径100nm的纳米柱结构图。  

       左图是放大到100,000倍后的观测结果，顶端表面的Ag颗粒清晰可见。右图是用IM4000离子研磨后的截面观测图，加速电压为1.6kV，在100,000放大倍数下，BSE图像成分衬度十分明显，图中可以明显地观测到材料Au表面覆盖了一层Ag。  

加速电压: 6kV　

放大倍数: 200,000x

分析时间: 313 sec.

EDS: Bruker FlatQUAD

       上图为大窗口SDD EDS探测器得到的能谱面扫结果。扫描时间为5min，Si基底,Au材料以及厚10nm的镀Ag层可明显地被区分。

     样品提供:  Prof. Masahiko Yoshino, Department of Mechanical and Control Engineering,  Tokyo Institute of Technology

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