落地式/传统大型
热场发射
国产
≤0.9nm(15kV),≤1.3nm(1KV)
×3 ~ ×1,000,000
样品室大小:内部直径≥230mm
≥12个
五轴马达控制全自动样品台:具有接触报警与自停功能; 样品台移动范围:(1)X≥130mm;Y≥130mm;Z≥95mm; (2)样品台旋转:360°连续;样品台倾斜角度:-80°~+80°;
至少配置二次电子探测器、镜筒内二次电子探测器和可伸缩闪烁体式背散射电子探测器,三个探测器可以同时成像,还可以任意两个任意比例混合成像; 配置红外CCD相机; 配置束流测量的皮安计,提供防碰撞功能
180天
3年
安装调试现场免费培训;额外提供免费培训
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