FEI发布新的SEM/FIB双束系统:Quanta 3D FEG

2007年2月21日FEI公司发布了Quanta 3D FEG 扫描电镜(SEM)/聚焦离子束(FIB)"双束"系统, 进一步完善了FEI公司"双束"系统的产品家族. Quanta 3D FEG是目前功能最强大的分析型"双束"系统.


Quanta 3D FEG将FEI公司最新的FIB和电子光学技术融为一体, 并结合了FEI公司独特的环境扫描电镜(ESEM)技术, 为用户带来更大的应用灵活性和通用性. Quanta 3D FEG的发布, 将FEI公司目前已有的"双束"产品家族(包括Quanta 200 3D, Nova NanoLab, Helios NanoLab和Strata 400等)拓宽新的高度.


Quanta 3D FEG主要新技术包括:
- FIB最大束流达到65nA
- 扫描电镜电子束流最大200nA
- 环境扫描(ESEM)技术: 高真空, 低真空和环境真空三种真空模式
- 1kV分辨率(高真空) 2.9nm
- 3kV分辨率(低真空) 2.9nm
- 30kV STEM(高真空)分辨率 0.8nm


详细信息请参阅FEI公司网站 www.fei.com