沈阳仪表科学研究院三项科研项目通过专家鉴定
沈阳仪表科学研究院三项科研项目通过专家鉴定，达到国际先进水平
2009年4月8日，由沈阳市科技局主持，在沈阳仪表院召开了科技成果专家鉴定会议。该院“高压束阵式自动清洗系统”、“高压开关SF6气体微水含量传感器及在线监测系统”、“MEMS硅基压力敏感芯片批产工艺技术”三项科研成果经专家鉴定，鉴定委员一致认为：三项目提供的鉴定资料齐全，内容完整、规范，符合科技成果鉴定的要求;三项目技术水平在国内领先，达到国际先进水平,其中“高压束阵式自动清洗系统”项目为国际首创;“MEMS硅基压力敏感芯片批产工艺技术”项目填补了我国自主批量生产硅基压力敏感芯片的空白。
来源于：沈阳仪表科学研究院
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