中科院微电子所过亿元仪器设备采购大单揭晓
自2010年1月20日起至2010年11月29日，中国科学院微电子研究所共发布十四批仪器设备采购项目招标公告，其中已发布中标及成交结果公告的信息统计如下：
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包号 |
仪器设备名称 |
中标供应商名称 |
中标金额 |
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第二批 | |||
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第1包 |
等离子体喷涂实验系统 |
廊桥实业（香港）有限公司 |
$52.876万元 |
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第三批 | |||
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第1包 |
高分辨率场发射扫描电镜 |
天美（中国）科学仪器有限公司 |
$107.07万元 |
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第六批 | |||
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第1包 |
等离子体增强化学气相沉积系统 |
伯东企业（上海）有限公司 |
$19.7万元 |
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第七批 | |||
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第2包 |
涂胶显影机 |
沈阳芯源微电子设备有限公司 |
￥295万元 |
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第4包 |
步进光刻机 |
上海微高精密机械工程有限公司 |
￥398万元 |
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第5包 |
光学轮廓仪 |
维易科精密仪器国际贸易（上海）有限公司 |
$11.2万元 |
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第6包 |
电子束蒸发台 |
爱韩华（无锡）电子有限公司 |
￥165万元 |
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第8包 |
全自动清洗机 |
弘塑科技股份有限公司 |
$63万元 |
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第9包 |
等离子去胶机 |
Mattson Technology Inc |
$37.5万元 |
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第八批 | |||
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第1包 |
信号分析仪 |
安捷伦科技新加坡销售（私人）有限公司 |
$12.15万 |
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第九批 | |||
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第1包 |
超低能离子注入机 |
维利安精密仪器维修（上海）有限公司 |
199万$ |
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第2包 |
金属栅刻蚀机、氧化硅/氮化硅刻蚀机 |
Lam Research International Sarl |
380万$ |
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第3包 |
化学机械研磨机 |
汉民科技股份有限公司 |
168万$ |
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第4包 |
单片清洗机、单片湿法腐蚀设备 |
Lam Research International Sarl |
165万$ |
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第5包 |
单片清洗机 |
盛美半导体设备（上海）有限公司 |
44万$ |
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第十批 | |||
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第1包 |
化学清洗线、蚀刻线、显影线、去膜线 |
铨億机械股份有限公司 |
$50.5万元 |
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第2包 |
半自动曝光机 |
上海欧托科国际贸易有限公司 |
$42.52万元 |
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第3包 |
机械钻孔机 |
金富宝亚太有限公司 |
$13.80万元 |
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第5包 |
真空压膜机 |
联策科技（股份）有限公司 |
$40.251万元 |
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第6包 |
封装基板等离子清洗机 |
盈泰国际（集团）有限公司 |
$13万元 |
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第7包 |
精密压机 |
博可机械（上海）有限公司 |
$14.58万元 |
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第8包 |
化铜线、镀铜线 |
安美特（中国）化学有限公司上海青浦分公司 |
￥280万元 |
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第十一批 | |||
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第1包 |
半自动清洗机 |
北京七星华创电子股份有限公司 |
￥160万元 |
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第2包 |
扩散炉系统 |
北京七星华创电子股份有限公司 |
￥405万元 |
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第3包 |
多晶硅低压化学气相淀积系统 |
镭社有限公司 |
$45.05万元 |
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第4包 |
膜厚仪 |
Spectramax International Limited |
$31.80万元 |
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第6包 |
多晶硅刻蚀机 |
北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司 |
￥1139.4942万元 |
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第十二批 | |||
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第1包 |
矢量信号发生器 |
微波技术有限公司 |
$133080元 |
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第2包 |
高性能示波器 |
微波技术有限公司 |
$177000元 |
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第3包 |
芯片自动测试捆绑套件 |
中科泛华测控技术有限公司 |
$17万元 |
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第十三批 | |||
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第1包 |
导电扫描探针显微镜系统 |
德国布鲁克AXS有限公司 |
$18.92万元 |
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第十四批 | |||
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第1包 |
基于ARM Core的原型验证开发平台 |
深圳市亿道电子技术有限公司 |
$30万元 |
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第2包 |
宽带数字示波器 |
美国力科公司 |
$98249.7元 |
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第3包 |
193nm激光器 |
Coherent Inc. |
$15.3万元 |
采购人名称：中国科学院微电子研究所
采购代理机构全称：东方国际招标有限责任公司
项目联系人：窦志超
联系电话：010-68725599-8447
来源于：中国政府采购网
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