导读:近日,深圳市速普仪器有限公司在仪器信息网发布【SuPro】薄膜应力测试仪FST2000新品
基于经典基片弯曲法Stoney公式测量原理,采用先进的矩阵激光点阵扫描方式和探测技术,以及智能化的操作,使得FST2000薄膜应力仪特别适合于晶圆类光电薄膜样品的曲率半径和应力测量。
独特的双模扫描模式方便适应不同应用场景下需求:Mapping不同区域的薄膜应力分布或快速表征样品整体平均残余应力。
创新点:
1.半导体薄膜、光电薄膜专用残余应力测试仪器; 2.兼容区域性薄膜应力分布mapping结果和快速表征样品整体平均残余应力; 3.通过独特对减模式算法,可数据处理校正原始表面不平影响。
来源于:仪器信息网
热门评论
最新资讯
新闻专题
更多推荐