一周内多所科研院校密集发布刻蚀机采购招标公告

       刻蚀是半导体制造工艺，微电子IC制造工艺以及微纳制造工艺中的一种相当重要的步骤。是与光刻相联系的图形化处理的一种主要工艺。所谓刻蚀，实际上狭义理解就是光刻腐蚀，先通过光刻将光刻胶进行光刻曝光处理，然后通过其它方式实现腐蚀处理掉所需除去的部分。刻蚀是半导体制造中重要的一环，其中尤以等离子体刻蚀重要。

       根据Gartner 估算，刻蚀设备占整体建厂设备投资的 15%左右，其中介质刻蚀和硅刻蚀设备分别能占到其中的45%以上，金属刻蚀大概占到3-4%。2018-2020年国内晶圆厂建设对应的刻蚀设备市场空间分别为150、150、160 亿元，而其中介质刻蚀设备市场需求分别为74、76、80 亿元，硅刻蚀设备市场需求分别为71、73、77 亿元，金属刻蚀设备需求分别为4.5、5、5 亿元。

       随着近些年半导体行业的火热，对刻蚀的研究更是成为了各大相关科研院所的一个研究热点，带动了相关刻蚀设备的采购，近日国内科研院更是接连发布数条刻蚀设备的招标公告。

其中，40%招标公告明确要求采购国产等离子体刻蚀机。

以下为本周以来的相关招标公告，

一、《中国科学院微电子研究所感应耦合等离子体刻蚀机采购项目公开招标公告》

       项目概况：

       中国科学院微电子研究所感应耦合等离子体刻蚀机采购项目 招标项目的潜在投标人应在www.o-science.com获取招标文件，并于2020年09月01日 14点30分（北京时间）

前递交投标文件。

       项目编号：OITC-G200290831

       项目名称：中国科学院微电子研究所感应耦合等离子体刻蚀机采购项目

       预算金额：200.0 万元（人民币）

       最高限价（如有）：200.0 万元（人民币）

       采购需求：

二、《南开大学材料科学与工程学院介质和磁性材料感应耦合等离子体刻蚀机采购项目公开招标公告》

       项目概况：

       南开大学材料科学与工程学院介质和磁性材料感应耦合等离子体刻蚀机采购项目 招标项目的潜在投标人应在公允（天津）招标代理有限公司天津市南开区红旗南路仁爱濠景国际大厦A座6层601室）获取招标文件，并于2020年08月27日 09点30分（北京时间）前递交投标文件。

       项目编号：NK2020S040N

       项目名称：南开大学材料科学与工程学院介质和磁性材料感应耦合等离子体刻蚀机采购项目

       预算金额：250.79 万元（人民币）

       采购需求：详情请见项目需求书附件

三、《山东大学激光离子束光刻刻蚀系统采购公开招标公告》

       项目概况：

       山东大学激光离子束光刻刻蚀系统采购 招标项目的潜在投标人应在济南市高新区舜华路2000号舜泰广场6号楼2101室获取招标文件，并于2020年09月08日 14点30分（北京时间）前递交投标文件。

       项目编号：SDSS20200639-F014

       项目名称：山东大学激光离子束光刻刻蚀系统采购

       预算金额：500.0 万元（人民币）

       最高限价（如有）：500.0 万元（人民币）

       采购需求：山东大学采购激光离子束光刻刻蚀系统一套，用于研究开发相关科研工作。故拟采购一套激光离子束光刻刻蚀系统。（详见公告附件）

四、《西北师范大学物理与电子工程学院基础与应用研究平台建设项目公开招标公告》

       西北师范大学招标项目的潜在投标人应在甘肃省公共资源交易网（http://ggzyjy.gansu.gov.cn/）获取招标文件，并于2020-09-04 11:00:00（北京时间）前递交投标文件。

       项目编号：GSJY-ZC2020141

       项目名称：西北师范大学物理与电子工程学院基础与应用研究平台建设项目

       预算金额：194.23(万元)

       最高限价：194.23(万元)

       采购需求：双通道系统数字源表(进口产品已论证) 1套、加热型磁力搅拌器 1台、手套箱 1台、压力可控型电动纽扣电池封装机 1台、控温磁力搅拌器 1台、等离子刻蚀机(进口产品已论证) 1套、电子防潮箱 1台、等离子体清洗机 1套、视频接触角张力测量仪 1套、实验室纯水机 1 台、鼓风干燥箱 1台、手套箱配套机械泵 1套、正入射软X射线谱仪 1套、激光诱导击穿光谱-拉曼联用谱仪 1套、双模式双恒电位仪(进口产品已论证) 1套、高精度分析天平 1台、旋转环盘电极(进口产品已论证) 1套、金属空气电池测试系统(进口产品已论证) 1套

五、《北京工业大学20内涵发展定额-教育部B类重点实验室建设经费项目（第2包）招标公告》

       项目概况：

       北京工业大学20内涵发展定额-教育部B类重点实验室建设经费项目（第2包）招标项目的潜在投标人应在北京市东城区朝内大街南竹杆胡同6号北京INN3号楼9层获取招标文件，并于2020年09月02日09点30分（北京时间）前递交投标文件。

       项目编号：BJJQ-2020-712-01、02、03

       项目名称：北京工业大学20内涵发展定额-教育部B类重点实验室建设经费项目（第2包）

       预算金额：人民币325万元

       第2包分包预算金额：人民币111.00万元

       采购需求：等离子体化学气相沉积台1套、高密度等离子刻蚀系统1套，不允许采购进口产品

       随着我国对半导体行业的大力支持，大量科研院所开始采购相关设备，半导体行业的生产检测等仪器设备前景广阔。