预算超7000万！中国科学院上海高等研究院采购DUV光刻机

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2020.10.09 点击0次

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导读：9月28日，张江实验室（中国科学院上海高等研究院）发布招标公告，预算7135万元采购193nm光刻机。

9月28日，张江实验室（中国科学院上海高等研究院）发布《张江实验室（中国科学院上海高等研究院）硅光子市级重大专项200mm硅光中试平台拓展和成套工艺开发193nm 光刻机设备采购项目公开招标公告》，预算达7135万元。

招标文件获取日期为2020年09月28日至 2020年10月12日，每天上午9:00至11:00，下午13:00至16:00。（北京时间，法定节假日除外）并于2020年10月28日 09点30分（北京时间）前递交投标文件。2021年11月30日前交货。

一、项目基本情况

项目编号：0705-204118101829

项目名称：张江实验室（中国科学院上海高等研究院）硅光子市级重大专项200mm硅光中试平台拓展和成套工艺开发193nm 光刻机设备采购项目

预算金额：7135.0000000 万元（人民币）

最高限价（如有）：7135.0000000 万元（人民币）

采购需求：

193nm 光刻机设备：1台/套

交货期：2021年11月30日前

简要技术要求：

Wafer size：200mm

Resolution: 65nm

NCE: ≤ 7.0nm

AST: ≤ 25nm

IPD: ≤ 45nm

SMO：≤ 9.5nm

合同履行期限：2021年11月30日前

本项目( 不接受 )联合体投标。

二、申请人的资格要求：

1.满足《中华人民共和国政府采购法》第二十二条规定；

2.落实政府采购政策需满足的资格要求：

本次招标所需的资金来源已经落实,拟采购的设备已通过进口论证。

3.本项目的特定资格要求：1）投标人须是投标货物的制造商，或是再制造企业，或是取得有效授权的代理商。(若是再制造企业，应当具备再制造生产所需的必备条件（见质检检函[2008]109号“关于规范进口再制造用途旧机电产品检验监管工作的通知”的附件“申请再制造企业登记必备条件”），并向所在地检验检疫机构申请登记；若是代理商，须提供由投标货物制造商或再制造企业出具的针对本项目的书面唯一授权书及售后服务授权书。)；2）投标货物可以是全新设备，也可以是再制造后的旧设备，但不可以是改造设备，投标人必须在其投标文件中对投标货物明确说明（若为旧设备，须提供设备的生产年份和序列号，且须符合国家建设循环经济和再制造产业发展的要求，通过先进工艺技术和产业化生产可以恢复原设计性能。）；3）投标人须在投标截止期之前在国家商务部指定的机电产品招标投标电子交易平台（以下简称电子交易平台，网址为：http://www.chinabidding.com）上完成有效注册（由于电子交易平台的注册审核需要一定时间，如投标人在决定参加本项目投标后请尽早登录该网站查询自身是否已经处于有效注册状态，以免因临近投标截止时间再来办理注册事宜而影响正常投标）；4）投标人应为符合《中华人民共和国招标投标法》规定的独立法人或其他组织（须提供营业执照或其他相关登记证明文件）；5）投标人近三年内在经营活动中没有重大违法记录，无利用不正当竞争手段骗取中标，无重大经济刑事案件，未因自身的任何违约、违法或违反商业道德的行为而导致合同解除或作为被告败诉（须提供承诺书）；6）投标人应具有履行合同所必须的设备和半导体专业技术能力，投标人须具有193nm 光刻机整机直接供货和装机经验（须提供机台验收证明文件或用户证明文件）；7）投标人提供的投标货物必须为自有机台，须提供自有机台真实性证明（机台所属证明，down-payment，不接受LOI），投标人须在招标人提出要求后的3天内接受招标人对机台真实性的现场查验；8）本项目不接受联合体投标。