增资1亿元！中微半导体成某科学仪器公司第一大股东

近日，中微半导体设备（上海）股份有限公司（以下简称“中微”）完成对睿励科学仪器（上海）有限公司（以下简称“睿励”）1亿元人民币增资。

睿励致力于集成电路生产前道工艺检测领域设备研发和生产，是国内少数几家进入国际领先的12英寸生产线的高端装备企业之一，并且是国内唯一进入韩国某领先芯片生产企业的国产集成电路设备企业。其主营产品为光学膜厚测量设备和光学缺陷检测设备，以及硅片厚度及翘曲测量设备等。睿励自主研发的12英寸光学测量设备TFX3000系列产品，已应用在65/55/40/28纳米芯片生产线并在进行了14纳米工艺验证，在3D存储芯片产线支持64层3DNAND芯片的生产，并正在验证96层3DNAND芯片的测量性能。睿励应用于LED蓝宝石衬底图形检测的自动光学检测设备，也已成功销售到众多国内LEDPSS衬底和LED芯片生产线。睿励正在开发下一代可支持更高阶芯片制程工艺的膜厚和OCD测量设备以及应用于集成电路芯片生产的缺陷检测设备，进一步扩大可服务的市场规模。

本轮增资之前，睿励的股东阵容堪称豪华：浦东科创、张江科投、国家大基金、上海创投、上海国盛等一众知名产业投资机构。其中，浦东科创作为睿励第一大股东，在睿励的发展中起到关键的作用。早在2009年，浦东科创就投资睿励成为其早期股东之一，并在随后十多年数次增资睿励。作为地方国资，浦东科创履行产业扶持的使命，不断为睿励的发展对接有利的政策，并为其引进相应的人才；作为产业资源整合者，浦东科创帮助睿励打通行业上下游，帮助其获得强有力的订单支持。十多年的坚守，终换来如今睿励令人兴奋的未来，也为中国半导体产业注入了持久的活力。

本轮1亿元增资后，中微继而成为睿励第一大股东。引入中微这一重量级产业资本，一方面是基于中微以及尹志尧先生成功的创业经验和崇高的行业地位；另一方面，也是考虑到两者合作能形成更高层次的产业链整合，进而帮助中微、浦东乃至上海的半导体高端装备做大做强。中微也将抓住与睿励合作这一关键机遇，给予睿励资金、技术、管理等全方位的支持，在如今国内半导体行业大发展的黄金时期勇攀高峰。