芯片制造关键设备再突破！离子注入机实现全谱系产品国产化
导读：中国电科旗下装备子集团成功实现离子注入机全谱系产品国产化。
3月17日消息，中国电科旗下装备子集团已成功实现离子注入机全谱系产品国产化，可为全球芯片制造企业提供离子注入机一站式解决方案。
中国电科连续突破高性能离子源、高速晶圆传输等“卡脖子”技术，自主研制中束流、大束流、高能、特种应用及第三代半导体等离子注入机，工艺段覆盖至28nm，为我国芯片制造产业链补上重要一环，有效缓解了我国芯片制造领域断链、短链难题。
离子注入机
来源于：新华社
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