围观半导体企业硅材料测试实验室都在用哪些仪器？
导读：仪器信息网将知名半导体企业购置的硅材料测试仪器整理成仪器清单。
硅材料是半导体行业应用最广泛的半导体材料，是集成电路晶圆制造的主要原料。
集成电路材料产业技术创新联盟联合分析检测与技术合作服务平台是材料联盟牵头，由多家半导体领域高校、企业及实验室等共建单位积极参与建设的专业化服务平台，目前共发布320多台仪器，涉及硅材料、光刻材料、电子气体、工艺化学品、封装材料、抛光材料、溅射靶材等多个不同领域。仪器信息网特将其中硅材料测试仪器进行整理，看知名半导体企业及实验室都购置了哪些硅材料测试仪器。（所统计仪器，部分仪器可能存在并列或包含关系，未进行区分）
硅材料测试用仪器共55台（套），其中电子天平、电感耦合等离子质谱仪数量最多。
硅材料测试用仪器数量统计
仪器 | 台（套）数量 |
电子天平 | 4 |
电感耦合等离子体质谱仪 | 4 |
微控数显电加热板 | 2 |
数字式硅晶体少子寿命测试仪 | 2 |
磷检区熔炉 | 2 |
激光粒子计数器 | 2 |
等离子聚焦离子束 | 2 |
紫外/可见分光光度计 | 1 |
1 | |
研磨机 | 1 |
硝酸提纯仪 | 1 |
显微红外分析仪 | 1 |
微机控制万能（拉力）试验机 | 1 |
1 | |
透视式电子显微镜 | 1 |
透射电子显微镜 | 1 |
少子寿命分析仪 | 1 |
扫描电镜系统 | 1 |
三维光学轮廓仪 | 1 |
能量色散型X射线荧光分析仪 | 1 |
1 | |
两探针电阻率测试仪 | 1 |
离子色谱仪 | 1 |
1 | |
扩展电阻测试仪 | 1 |
聚焦离子束 | 1 |
精密研磨机 | 1 |
精密切割机 | 1 |
1 | |
激光散射粒径分布分析仪 | 1 |
傅立叶变换红外光谱仪 | 1 |
非金属膜厚仪 | 1 |
飞行时间二次离子质谱仪 | 1 |
多功能颗粒计数仪 | 1 |
电感耦合等离子体发射光谱仪 | 1 |
电感耦合等离子发射光谱仪 | 1 |
低温傅立叶变换红外光谱仪 | 1 |
低温傅里叶变换红外光谱仪 | 1 |
导电型号测试仪 | 1 |
超纯水系统 | 1 |
半导体参数测试仪 | 1 |
α-粒子计数器 | 1 |
CNC视像测量系统(三次元) | 1 |
3D立体显微镜 | 1 |
仪器所属单位中，55台（套）仪器分别来自于9家半导体企业及实验室。
仪器所属企业统计
单位名称 | 台（套）数量 |
江苏鑫华半导体材料科技有限公司 | 23 |
工业和信息化部电子第五研究所（中国赛宝实验室） | 16 |
上海新安纳电子科技有限公司 | 5 |
南京国盛电子有限公司 | 3 |
洛阳中硅高科技有限公司 | 3 |
无锡华润上华科技有限公司 | 2 |
沁阳国顺硅源光电气体有限公司 | 1 |
纳瑞科技（北京）有限公司 | 1 |
江阴江化微电子材料股份有限公司 | 1 |
以下为硅材料测试用仪器的具体信息：
硅材料测试仪器及型号
仪器 | 型号 | 所属单位 |
飞行时间二次离子质谱仪 | TOF.SIMS 5 | 工业和信息化部电子第五研究所（中国赛宝实验室） |
非金属膜厚仪 | 3100 | 江阴江化微电子材料股份有限公司 |
DM8000、DM3 XL等 | 工业和信息化部电子第五研究所（中国赛宝实验室） | |
透视式电子显微镜 | Tecnai F20 | 无锡华润上华科技有限公司 |
透射电子显微镜 | FEI Tecnai G 2 F20、OXFORD 能谱 | 工业和信息化部电子第五研究所（中国赛宝实验室） |
超纯水系统 | Milli-Q Advantage A10 | 江苏鑫华半导体材料科技有限公司 |
能量色散型X射线荧光分析仪 | EDX-720 | 工业和信息化部电子第五研究所（中国赛宝实验室） |
聚焦离子束 | FEI DB835 | 无锡华润上华科技有限公司 |
NiComp 380 ZLS | 上海新安纳电子科技有限公司 | |
紫外/可见分光光度计 | UV-MINI 1240 | 工业和信息化部电子第五研究所（中国赛宝实验室） |
精密研磨机 | UNIPOL-802 | 江苏鑫华半导体材料科技有限公司 |
精密切割机 | SYJ-150 | 江苏鑫华半导体材料科技有限公司 |
等离子聚焦离子束 | FEI-235/FEI-835/FEI-200/FEI-800 | 纳瑞科技（北京）有限公司 |
等离子聚焦离子束 | 双束FIB Helios G4 CX | 工业和信息化部电子第五研究所（中国赛宝实验室） |
离子色谱仪 | ICS-900 | 上海新安纳电子科技有限公司 |
882 Compact IC plus | 江苏鑫华半导体材料科技有限公司 | |
磷检区熔炉 | WJ-FZ30A | 江苏鑫华半导体材料科技有限公司 |
磷检区熔炉 | FZ 350/20 | 江苏鑫华半导体材料科技有限公司 |
硝酸提纯仪 | DST-4000 | 江苏鑫华半导体材料科技有限公司 |
研磨机 | metaserv250 | 江苏鑫华半导体材料科技有限公司 |
电感耦合等离子发射光谱仪 | VARIAN 710-ES | 上海新安纳电子科技有限公司 |
电感耦合等离子体质谱仪 | iCAP RQ | 沁阳国顺硅源光电气体有限公司 |
电感耦合等离子体质谱仪 | 7700S | 南京国盛电子有限公司 |
电感耦合等离子体质谱仪 | 8900 | 江苏鑫华半导体材料科技有限公司 |
电感耦合等离子体质谱仪 | 7700S | 江苏鑫华半导体材料科技有限公司 |
电感耦合等离子体发射光谱仪 | 5100 | 工业和信息化部电子第五研究所（中国赛宝实验室） |
电子天平 | XPE504 | 江苏鑫华半导体材料科技有限公司 |
电子天平 | XPE105 | 江苏鑫华半导体材料科技有限公司 |
电子天平 | ME-204E | 江苏鑫华半导体材料科技有限公司 |
电子天平 | JE1002 | 江苏鑫华半导体材料科技有限公司 |
激光粒子计数器 | KC-24 | 江苏鑫华半导体材料科技有限公司 |
激光粒子计数器 | HHPC-6+ | 江苏鑫华半导体材料科技有限公司 |
激光散射粒径分布分析仪 | LA-960 | 上海新安纳电子科技有限公司 |
显微红外分析仪 | NicoletIS50+Continuum | 工业和信息化部电子第五研究所（中国赛宝实验室） |
数字式硅晶体少子寿命测试仪 | LT-100C | 洛阳中硅高科技有限公司 |
数字式硅晶体少子寿命测试仪 | LT-100C | 江苏鑫华半导体材料科技有限公司 |
扫描电镜系统 | 冷场发射扫描电子显微镜 Regulus8230 热场发射扫描电子显微镜 MIRA3 XMH 离子溅射镀膜仪 Q150TS 能谱仪 Octane Elect Plus 电子背散射衍射仪相机 Hikari Plus X射线能谱仪 Octane Elect Su | 工业和信息化部电子第五研究所（中国赛宝实验室） |
扩展电阻测试仪 | SSM2000 | 南京国盛电子有限公司 |
MARS6 | 江苏鑫华半导体材料科技有限公司 | |
微机控制万能（拉力）试验机 | CMT5105、6502 | 工业和信息化部电子第五研究所（中国赛宝实验室） |
微控数显电加热板 | HP51 | 江苏鑫华半导体材料科技有限公司 |
微控数显电加热板 | EG20B | 江苏鑫华半导体材料科技有限公司 |
少子寿命分析仪 | FAaST210 | 南京国盛电子有限公司 |
导电型号测试仪 | STY-3 | 江苏鑫华半导体材料科技有限公司 |
多功能颗粒计数仪 | AccuSizer 780 APS | 上海新安纳电子科技有限公司 |
Dimension® Icon™ | 工业和信息化部电子第五研究所（中国赛宝实验室） | |
半导体参数测试仪 | B1500/B1500A/B15005A | 工业和信息化部电子第五研究所（中国赛宝实验室） |
傅立叶变换红外光谱仪 | Nicolet iS50 | 洛阳中硅高科技有限公司 |
低温傅里叶变换红外光谱仪 | CryoSAS | 江苏鑫华半导体材料科技有限公司 |
低温傅立叶变换红外光谱仪 | CryoSAS | 洛阳中硅高科技有限公司 |
两探针电阻率测试仪 | KDY-20 | 江苏鑫华半导体材料科技有限公司 |
三维光学轮廓仪 | VK-X250K | 工业和信息化部电子第五研究所（中国赛宝实验室） |
α-粒子计数器 | UltraLo-1800 | 工业和信息化部电子第五研究所（中国赛宝实验室） |
CNC视像测量系统(三次元) | O-INSPECT543 | 工业和信息化部电子第五研究所（中国赛宝实验室） |
3D立体显微镜 | VHX-6000 | 工业和信息化部电子第五研究所（中国赛宝实验室） |
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