瑞萨芯片工厂大火已致23台设备受影响

3月30日，瑞萨电子就3月19日瑞萨半导体制造中300毫米晶圆线（N3大楼一楼）的火灾恢复情况进行了解释。

火灾现场

目前，中岛工厂N3大楼正在加紧修复工作，以迅速恢复运营。 因此，3月29日，在火灾中受损的天花板梁结构材料的加固工作已经完成，包括铺设在天花板上的过滤器在内的耗材的采购，以及工厂内部污渍的清洁工作也基本进展顺利。

此外，关于在制造过程中对晶圆的损坏，在N3大楼的整个一楼和二楼，大约3/4的晶圆被确定为可用。

然而，采购被烧毁的制造设备被认为是一大问题。 最初被烧毁的制造装置为11台，即使没有烧坏，由于其他制造设备被证实受到了氯气腐蚀等影响，总共需要采购23台新的制造设备（包括更换部分部件）。

此外，在N3大楼的一楼安装了约390台制造设备，其中90%以上的制造设备已经确认没有问题。 其余不到10%的设备计划在近期内完成操作确认，总体上，"恢复洁净室的工作进展顺利。在最初设定的一个月内恢复生产的确定性正在显著增加，"公司总裁兼首席执行官Hideo Shibata说。

4月开始搬入替代设备

该公司表示，按照23台因火灾而受损的情况来采购二手和新设备（包括二手设备或新设备,其中一些设备制造商的实验室正在生产），预计到4月底，工厂将至少安装并启动11台设备。此外，3月30日，该公司表示，5台制造设备预计将在5月中旬交付，正在就加快交付这些设备进行谈判和谈判（如果可能的话，在4月交付）。

需要采购的23台制造设备（来源：瑞萨电子新闻稿）

此外，预计两台Cu电镀设备将推迟到6月交付，但该公司表示，正在就缩短交货时间进行讨论，以尽早交付。 其余五台设备目前尚未确定正式交付时间，但"预计交货时间不会提前，预计不会在太短的时间内交付，但目前处于调整或等待最终交货日期确定的阶段"，具体时间表尚未公布。

估计对销售额的影响高达240亿日元

3月21日的财报显示，N3大楼的月销售额约为170亿日元，但在随后的审查中，发现其销售额正好在130亿日元左右。 根据这一数据，我们估计了1.5个月或2个月停产造成的损失，预计影响为195亿至260亿日元，其中20亿日元为产品库存，净亏损175亿日元至240亿日元。

据该公司称，新安装的设备不一定与以前相同。中岛工厂的工艺高达40nm（日本没有半导体工厂支持比逻辑工艺更精细的工艺），但世界上以台积电的5nmEUV工艺为首，逻辑工艺的小型化程度正在提高，因此，根据二手设备的不同，其性能可能高于传统设备。然而，并非所有设备都如此，有些设备是作为连接装置引入的，目的是恢复四到五成的能力，因此这次采购似乎具有急救意义。

此外，该公司表示，尚未确定导致火灾原因的Cu电镀装置的详细原因，该公司将继续与相关部门合作进行调查。