67项电子特气标准盘点
导读：为不断推动电子特气产业发展，国家出台了各种相关标准。仪器信息网特对电子特气相关标准规范进行盘。本次盘点涉及国际标准和国家标准两类。
特种气体是用途有别于一般气体的气体，是一个笼统的概念。它在纯度、品种、性能方面都是严格按照一定规格进行生产和使用的。一般认为，特种气体是由电子气体、高纯石油化工气体和标准混合气体所组成。另外，在半导体制造业中，气体还可以分为大宗气体和电子气体，大宗气体是指集中供应且用量较大的气体，如N2、H2、O2、Ar、He 等。电子气体主要是半导体制造的每一个过程如外延生长、离子注入、掺杂、刻蚀清洗、掩蔽膜生成所用到的各种化学气体，如高纯SiH4、PH3、AsH3、B2H6、N2O、NH3、SF6、NF3、CF4、BCI3、BF3、HCI、CI2等，又可称为电子特种气体。
电子特种气体是超大规模集成电路、平板显示器件、化合物半导体器件、太阳能电池、光纤等电子工业生产不可或缺的原材料，它们主要应用于薄膜、刻蚀、掺杂、气相沉积、扩散等工艺。电子工业服务的电子气品种繁多，用途五花八门。各类半导体用电子气体标准主要由全国半导体设备和材料标准化技术委员会气体分技术委员会制定。
为不断推动电子特气产业发展，国家出台了各种相关标准。仪器信息网特对电子特气相关标准规范进行盘。本次盘点涉及国际标准和国家标准两类，涉及国际标准40项，国家标准27项，共计67项标准。详情如下，
国际标准
| 计划号 | 项目名称 | 制修订 | 计划下达日期 | 项目状态 |
| 20204890-T-469 | 电子特气 一氧化氮 | 制订 | 2020/12/28 | 正在起草 |
| 20204889-T-469 | 电子特气 六氯乙硅烷 | 制订 | 2020/12/28 | 正在起草 |
| 20200854-T-469 | 电子特气 三氟化氮 | 修订 | 2020/3/6 | 正在批准 |
| 20200797-T-469 | 电子特气 三氯化硼 | 修订 | 2020/3/6 | 正在批准 |
| 20192162-T-469 | 电子特气 氨 | 修订 | 2019/7/12 | 正在审查 |
| 20192161-T-469 | 电子特气 磷化氢 | 修订 | 2019/7/12 | 正在审查 |
| 20184308-T-469 | 电子特气 六氟丁二烯 | 制订 | 2018/12/29 | 正在批准 |
| 20184306-T-469 | 电子工业用二氯硅烷 | 制订 | 2018/12/29 | 已发布 |
| 20184310-T-469 | 电子工业用四氯化硅 | 制订 | 2018/12/29 | 已发布 |
| 20184309-T-469 | 电子特气 氟甲烷 | 制订 | 2018/12/29 | 正在批准 |
| 20132258-T-469 | 电子工业用气体 六氟乙烷 | 制订 | 2014/1/26 | 已发布 |
| 20132259-T-469 | 电子工业用气体 三氟甲烷 | 制订 | 2014/1/26 | 已发布 |
| 20132260-T-469 | 电子工业用气体中金属含量的测定 电感耦合等离子体质谱法 | 制订 | 2014/1/26 | 已发布 |
| 20132255-T-469 | 半导体制造用气体处理指南 | 制订 | 2014/1/26 | 已发布 |
| 20132257-T-469 | 电子工业用气体 硅烷 | 修订 | 2014/1/26 | 已发布 |
| 20132256-T-469 | 电子工业用气体 丙烯 | 制订 | 2014/1/26 | 已发布 |
| 20120270-T-469 | 电子工业用气体 八氟丙烷 | 制订 | 2012/10/12 | 已发布 |
| 20120271-T-469 | 电子工业用气体 锗烷 | 制订 | 2012/10/12 | 已发布 |
| 20110736-T-469 | 电子工业用气体 四氟化硅 | 制订 | 2011/12/14 | 已发布 |
| 20111284-T-469 | 电子工业用气体 高纯氯 | 修订 | 2011/12/14 | 已发布 |
| 20110735-T-469 | 电子工业用气体 六氟化钨 | 制订 | 2011/12/14 | 已发布 |
| 20111285-T-469 | 电子工业用气体 氯化氢 | 修订 | 2011/12/14 | 已发布 |
| 20101283-T-469 | 电子工业用气体 六氟化硫 | 修订 | 2010/12/17 | 已发布 |
| 20091223-T-469 | 电子工业用气体 八氟环丁烷 | 制订 | 2009/12/15 | 正在审查 |
| 20091224-T-469 | 电子工业用气体 四氟化碳 | 制订 | 2009/12/15 | 正在审查 |
| 20081120-T-469 | 电子工业用气体 砷化氢 | 制订 | 2008/11/3 | 已发布 |
| 20081121-T-469 | 电子工业用气体 硒化氢 | 制订 | 2008/11/3 | 已发布 |
| 20081119-T-469 | 电子工业用气体 三氯化硼 | 修订 | 2008/11/3 | 已发布 |
| 20070017-T-469 | 电子工业用气体 5N氯化氢 | 制订 | 2007/5/18 | 已发布 |
| 20062982-T-469 | 电子工业用气体 磷化氢 | 修订 | 2005/12/30 | 已发布 |
| 20062406-T-469 | 电子工业用气体 氦 | 修订 | 2005/12/30 | 已发布 |
| 20062405-T-469 | 电子工业用气体 氢 | 修订 | 2005/12/30 | 已发布 |
| 20062408-T-469 | 电子工业用气体 氩 | 修订 | 2005/12/30 | 已发布 |
| 20062751-T-469 | 电子工业用气体 三氟化硼 | 修订 | 2005/12/30 | 已发布 |
| 20062752-T-469 | 电子工业用气体 氧 | 修订 | 2005/12/30 | 已发布 |
| 20062749-T-469 | 电子工业用气体 氧化亚氮 | 修订 | 2005/12/30 | 已发布 |
| 20062750-T-469 | 电子工业用气体 氨 | 修订 | 2005/12/30 | 已发布 |
| 20062407-T-469 | 电子工业用气体 氮 | 修订 | 2005/12/30 | 已发布 |
| 20064396-T-469 | 电子工业用气体 硅烷(SiH4) | 修订 | 2005/12/30 | 已发布 |
| 20051092-T-469 | 电子工业用气体 三氟化氮 | 制订 | 2005/12/15 | 已发布 |
国家标准
| 标准号 | 标准中文名称 | 发布日期 | 实施日期 | 标准状态 |
| GB/T 38866-2020 | 电子工业用二氯硅烷 | 2020/7/21 | 2021/2/1 | 现行 |
| GB/T 38867-2020 | 电子工业用四氯化硅 | 2020/7/21 | 2021/2/1 | 现行 |
| GB/T 34091-2017 | 电子工业用气体 六氟乙烷 | 2017/7/31 | 2017/11/1 | 现行 |
| GB/T 34085-2017 | 电子工业用气体 三氟甲烷 | 2017/7/31 | 2017/11/1 | 现行 |
| GB/T 15909-2017 | 电子工业用气体 硅烷 | 2017/5/31 | 2017/12/1 | 现行 |
| GB/T 33774-2017 | 电子工业用气体 丙烯 | 2017/5/31 | 2017/12/1 | 现行 |
| GB/T 32386-2015 | 电子工业用气体 六氟化钨 | 2015/12/31 | 2016/7/1 | 现行 |
| GB/T 31986-2015 | 电子工业用气体 八氟丙烷 | 2015/9/11 | 2016/5/1 | 现行 |
| GB/T 31987-2015 | 电子工业用气体 锗烷 | 2015/9/11 | 2016/5/1 | 现行 |
| GB/T 31058-2014 | 电子工业用气体 四氟化硅 | 2014/12/22 | 2015/7/1 | 现行 |
| GB/T 18867-2014 | 电子工业用气体 六氟化硫 | 2014/12/22 | 2015/7/1 | 现行 |
| GB/T 14602-2014 | 电子工业用气体 氯化氢 | 2014/12/22 | 2015/7/1 | 现行 |
| GB/T 18994-2014 | 电子工业用气体 高纯氯 | 2014/12/22 | 2015/7/1 | 现行 |
| GB/T 26249-2010 | 电子工业用气体 硒化氢 | 2011/1/14 | 2011/5/1 | 现行 |
| GB/T 26251-2010 | 氟及氟氮混合气 | 2011/1/14 | 2011/5/1 | 现行 |
| GB/T 17874-2010 | 电子工业用气体 三氯化硼 | 2011/1/14 | 2011/5/1 | 现行 |
| GB/T 26250-2010 | 电子工业用气体 砷化氢 | 2011/1/14 | 2011/5/1 | 现行 |
| GB/T 14851-2009 | 电子工业用气体 磷化氢 | 2009/10/30 | 2010/5/1 | 现行 |
| GB/T 14600-2009 | 电子工业用气体 氧化亚氮 | 2009/10/30 | 2010/5/1 | 现行 |
| GB/T 14601-2009 | 电子工业用气体 氨 | 2009/10/30 | 2010/5/1 | 现行 |
| GB/T 14603-2009 | 电子工业用气体 三氟化硼 | 2009/10/30 | 2010/5/1 | 现行 |
| GB/T 16945-2009 | 电子工业用气体 氩 | 2009/10/30 | 2010/5/1 | 现行 |
| GB/T 16944-2009 | 电子工业用气体 氮 | 2009/10/30 | 2010/5/1 | 现行 |
| GB/T 14604-2009 | 电子工业用气体 氧 | 2009/10/30 | 2010/5/1 | 现行 |
| GB/T 16942-2009 | 电子工业用气体 氢 | 2009/10/30 | 2010/5/1 | 现行 |
| GB/T 16943-2009 | 电子工业用气体 氦 | 2009/10/30 | 2010/5/1 | 现行 |
| GB/T 21287-2007 | 电子工业用气体 三氟化氮 | 2007/12/14 | 2008/7/1 | 现行 |
来源于：仪器信息网
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