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第三代半导体材料与器件相关标准盘点

导读:无规矩不成方圆,只有有了规矩,有了标准,这个世界才变得稳定有序!

第三代半导体材料主要是以碳化硅(SiC)、氮化镓(GaN)、氧化锌(ZnO)、金刚石、氮化铝(AlN)等为代表的宽禁带半导体材料。

与第一、二代半导体材料相比,第三代半导体材料具有更宽的禁带宽度、更高的击穿电场、更高的热导率、更高的电子饱和速率及更高的抗辐射能力,更适合于制作高温、高频、抗辐射及大功率器件,通常又被称为宽禁带半导体材料(禁带宽度大于2.3eV),亦被称为高温半导体材料。

从目前第三代半导体材料及器件的研究来看,较为成熟的第三代半导体材料是碳化硅和氮化镓,而氧化锌、金刚石、氮化铝等第三代半导体材料的研究尚属起步阶段。碳化硅(SiC)和氮化镓(GaN),被行业称为第三代半导体材料的双雄。

基于第三代半导体的优良特性,其在通信、汽车、高铁、卫星通信、航空航天等应用场景中颇具优势。其中,碳化硅、氮化镓的研究和发展较为成熟。以SiC为核心的功率半导体,是新能源汽车充电桩、轨道交通系统等公共交通领域的基础性控件;射频半导体以GaN为原材料,是支撑5G基站建设的核心;第三代半导体在消费电子、工业新能源以及人工智能为代表的未来新领域,发挥着重要的基础作用。近年来,随着新能源汽车的兴起,碳化硅IGBT器件逐渐被应用于超级快充,展现出了强大的市场潜力,第三代半导体发展进入快车道。

随着第三代半导体,特别是氮化镓和碳化硅的市场爆发,相关标准也逐渐出台。

无规矩不成方圆,只有有了规矩,有了标准,这个世界才变得稳定有序!标准是科学、技术和实践经验的总结。为在一定的范围内获得最佳秩序,对实际的或潜在的问题制定共同的和重复使用的规则的活动,即制定、发布及实施标准的过程,称为标准化。

为规范第三代半导体材料的发展,相关组织和机构也出台了一系列的标准。(以下第三代半导体标准只统计其作为宽禁带半导体材料的现行相关标准)

碳化硅(SiC)

碳化硅(SiC)材料是功率半导体行业主要进步发展方向,用于制作功率器件,可显着提高电能利用率。可预见的未来内,新能源汽车是碳化硅功率器件的主要应用场景。特斯拉作为技术先驱,已率先在Model 3中集成全碳化硅模块,其他一线车企亦皆计划扩大碳化硅的应用。随着碳化硅器件制造成本的日渐降低、工艺技术的逐步成熟,碳化硅功率器件行业未来可期。相关标准如下,

标准号标准名称
CASA 001-2018碳化硅肖特基势垒二极管通用技术规范
CASA 003-2018p-IGBT器件用4H-SiC外延晶片
CASA 004.1-20184H-SiC衬底及外延层缺陷 术语
CASA 004.2-20184H-SiC衬底及外延层缺陷 图谱
CASA 006-2020碳化硅金属氧化物半导体场效应晶体管通用技术规范
CASA 007-2020电动汽车用碳化硅(SiC)场效应晶体管(MOSFET)模块评测规范
CASA 009-2019半绝缘SiC材料中痕量杂质浓度及分布的二次离子质谱检测方法
T/IAWBS 013-2019半绝缘碳化硅单晶片电阻率非接触测量方法
T/IAWBS 012-2019碳化硅单晶抛光片表面质量和微管密度测试方法-共焦点微分干涉光学法
T/IAWBS 011-2019导电碳化硅单晶片电阻率测量方法-非接触涡流法
T/IAWBS 010-2019碳化硅单晶抛光片表面质量和微管密度检测方法-激光散射检测法
T/IAWBS 008-2019SiC晶片的残余应力检测方法
T/IAWBS 007-20184H碳化硅同质外延层厚度的红外反射测量方法
T/IAWBS 006-2018碳化硅混合模块测试方法
T/IAWBS 005-20186英寸碳化硅单晶抛光片
T/IAWBS 003-2017碳化硅外延层载流子浓度测定汞探针电容-电压法
T/IAWBS 002-2017碳化硅外延片表面缺陷测试方法
T/IAWBS 001-2017碳化硅单晶
DB13/T 5118-2019  4H碳化硅N型同质外 延片通用技术要求
DB61/T 1250-2019  SiC(碳化硅)材料半导体分立器件通用规范
GB/T 32278-2015  碳化硅单晶片平整度测试方法
GB/T 30867-2014  碳化硅单晶片厚度和总厚度变化测试方法
GB/T 30868-2014  碳化硅单晶片微管密度的测定 化学腐蚀法
SJ/T 11501-2015  碳化硅单晶晶型的测试方法
SJ/T 11503-2015  碳化硅单晶抛光片表面粗糙度的测试方法
SJ/T 11504-2015  碳化硅单晶抛光片表面质量的测试方法
SJ/T 11502-2015  碳化硅单晶抛光片规范
SJ/T 11499-2015  碳化硅单晶电学性能的测试方法
SJ/T 11500-2015碳化硅单晶晶向的测试方法
GB/T 31351-2014碳化硅单晶抛光片微管密度无损检测方法
GB/T 30656-2014碳化硅单晶抛光片
GB/T 30866-2014碳化硅单晶片直径测试方法

氮化镓(SiC)

氮化镓,是氮和镓的化合物,是一种直接能隙的半导体,自1990年起常用在发光二极管中。此化合物结构类似纤锌矿,硬度很高。氮化镓的能隙很宽,为3.4电子伏特,可以用在高功率、高速的光电元件中,例如氮化镓可以用在紫光的激光二极管,可以在不使用非线性半导体泵浦固体激光器的条件下,产生紫光(405nm)激光。GaN材料系列具有低的热产生率和高的击穿电场,是研制高温大功率电子器件和高频微波器件的重要材料。目前,随着 MBE技术在GaN材料应用中的进展和关键薄膜生长技术的突破,成功地生长出了GaN多种异质结构。用GaN材料制备出了金属场效应晶体管(MESFET)、异质结场效应晶体管(HFET)、调制掺杂场效应晶体管(MODFET)等新型器件。

标准号标准名称
CASA 010-2019GaN材料中痕量杂质浓度及分布的二次离子质谱检测方法
T/IAWBS 013—2019半绝缘碳化硅单晶片电阻率非接触测量方法
T/GDC 69—2020氮化镓充电器
GB/T 39144-2020 氮化镓材料中镁含量的测定 二次离子质谱法
GB/T 37466-2019氮化镓激光剥离设备
GB/T 37053-2018 氮化镓外延片及衬底片通用规范
GB/T 36705-2018 氮化镓衬底片载流子浓度的测试 拉曼光谱
GB/T 32282-2015 氮化镓单晶位错密度的测量 阴极荧光显微镜
GB/T 32189-2015 氮化镓单晶衬底表面粗糙度的原子力显微镜检验法
GB/T 32188-2015 氮化镓单晶衬底片x射线双晶摇摆曲线半高宽测试方法
GB/T 30854-2014 LED发光用氮化镓基外延片

蓝宝石(Al2O3

      蓝宝石晶体属于人造宝石晶体,主要应用于制作LED灯的关键材料,也是应用于红外军事装置、卫星空间技术、高强度激光的重要窗口材料。蓝宝石晶体是一种氧化铝的单晶,又称为刚玉。蓝宝石已成为一种重要的半导体衬底材料。

标准号标准名称
SJ/T 11505-2015  蓝宝石单晶抛光片规范
GB/T 35316-2017  蓝宝石晶体缺陷图谱
GB/T 34612-2017  蓝宝石晶体X射线双晶衍射摇摆曲线测量方法
GB/T 34504-2017  蓝宝石抛光衬底片表面残留金属元素测量方法
GB/T 34213-2017  蓝宝石衬底用高纯氧化铝
GB/T 34210-2017  蓝宝石单晶晶向测定方法
GB/T 33763-2017  蓝宝石单晶位错密度测量方法
SJ/T 11505-2015  蓝宝石单晶抛光片规范
GB/T 31353-2014  蓝宝石衬底片弯曲度测试方法
GB/T 31352-2014  蓝宝石衬底片翘曲度测试方法
GB/T 31093-2014  蓝宝石晶锭应力测试方法
GB/T 31092-2014  蓝宝石单晶晶锭
GB/T 30858-2014  蓝宝石单晶衬底抛光片
GB/T 30857-2014  蓝宝石衬底片厚度及厚度变化测试方法
DB44/T 1328-2014  蓝宝石图形化衬底片测试技术规范
GB/T 14015-1992  硅-蓝宝石外延片

其他标准

第三代半导体被广泛的应用于IGBT功率器件中和发光材料中,对此,我们盘点了宽禁带半导体、功率器件和光电子器件标准。

标准号标准名称
CASA 002-2021宽禁带半导体术语
T/IAWBS 004-2017电动汽车用功率半导体模块可靠性试验通用要求及试验方法
T/IAWBS 009-2019功率半导体器件稳态湿热高压偏置试验
GB/T 29332-2012半导体器件 分立器件 第9部分:绝缘栅双极晶体管(IGBT)
GB/T 36360-2018  半导体光电子器件 中功率发光二极管空白详细规范
GB/T 36358-2018  半导体光电子器件 功率发光二极管空白详细规范
GB/T 36357-2018  中功率半导体发光二极管芯片技术规范
GB/T 36356-2018  功率半导体发光二极管芯片技术规范
GB/T 36359-2018  半导体光电子器件 小功率发光二极管空白详细规范
SJ/T 11398-2009  功率半导体发光二极管芯片技术规范
SJ/T 11400-2009  半导体光电子器件 小功率半导体发光二极管空白详细规范
SJ/T 11393-2009  半导体光电子器件 功率发光二极管空白详细规范现行
SJ/T 1826-2016  半导体分立器件  3DK100型NPN硅小功率开关晶体管详细规范
SJ/T 1834-2016  半导体分立器件 3DK104型NPN硅小功率开关晶体管详细规范
SJ/T 1839-2016  半导体分立器件 3DK108型NPN硅小功率开关晶体管详细规范
SJ/T 1833-2016  半导体分立器件 3DK103型NPN硅小功率开关晶体管详细规范
SJ/T 1831-2016  半导体分立器件 3DK28型NPN硅小功率开关晶体管详细规范现行
SJ/T 1830-2016  半导体分立器件 3DK101型NPN硅小功率开关晶体管详细规范
SJ/T 1838-2016  半导体分立器件 3DK29型NPN硅小功率开关晶体管详细规范
SJ/T 1832-2016  半导体分立器件 3DK102型NPN硅小功率开关晶体管详细规范
IEC 60747半导体器件
QC/T 1136-2020  电动汽车用绝缘栅双极晶体管(IGBT)模块环境试验要求及试验方法
JB/T 8951.1-1999  绝缘栅双极型晶体管
JB/T 8951.2-1999  绝缘栅双极型晶体管模块 臂和臂对

需要注意的是,CASA和IAWBS属于团体标准、GB属于国家标准、DB是地方标准。仪器信息网为了更好地服务半导体行业用户,特邀请您参与问卷调研,麻烦大家动动小手完成问卷,参与即得10元话费!活动结束还将择优选择10名认真填写用户送出50元话费!!!http://a72wfu5hktu19jtx.mikecrm.com/zuXBhOy

第三代半导体材料与器件相关标准盘点

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第三代半导体材料主要是以碳化硅(SiC)、氮化镓(GaN)、氧化锌(ZnO)、金刚石、氮化铝(AlN)等为代表的宽禁带半导体材料。

与第一、二代半导体材料相比,第三代半导体材料具有更宽的禁带宽度、更高的击穿电场、更高的热导率、更高的电子饱和速率及更高的抗辐射能力,更适合于制作高温、高频、抗辐射及大功率器件,通常又被称为宽禁带半导体材料(禁带宽度大于2.3eV),亦被称为高温半导体材料。

从目前第三代半导体材料及器件的研究来看,较为成熟的第三代半导体材料是碳化硅和氮化镓,而氧化锌、金刚石、氮化铝等第三代半导体材料的研究尚属起步阶段。碳化硅(SiC)和氮化镓(GaN),被行业称为第三代半导体材料的双雄。

基于第三代半导体的优良特性,其在通信、汽车、高铁、卫星通信、航空航天等应用场景中颇具优势。其中,碳化硅、氮化镓的研究和发展较为成熟。以SiC为核心的功率半导体,是新能源汽车充电桩、轨道交通系统等公共交通领域的基础性控件;射频半导体以GaN为原材料,是支撑5G基站建设的核心;第三代半导体在消费电子、工业新能源以及人工智能为代表的未来新领域,发挥着重要的基础作用。近年来,随着新能源汽车的兴起,碳化硅IGBT器件逐渐被应用于超级快充,展现出了强大的市场潜力,第三代半导体发展进入快车道。

随着第三代半导体,特别是氮化镓和碳化硅的市场爆发,相关标准也逐渐出台。

无规矩不成方圆,只有有了规矩,有了标准,这个世界才变得稳定有序!标准是科学、技术和实践经验的总结。为在一定的范围内获得最佳秩序,对实际的或潜在的问题制定共同的和重复使用的规则的活动,即制定、发布及实施标准的过程,称为标准化。

为规范第三代半导体材料的发展,相关组织和机构也出台了一系列的标准。(以下第三代半导体标准只统计其作为宽禁带半导体材料的现行相关标准)

碳化硅(SiC)

碳化硅(SiC)材料是功率半导体行业主要进步发展方向,用于制作功率器件,可显着提高电能利用率。可预见的未来内,新能源汽车是碳化硅功率器件的主要应用场景。特斯拉作为技术先驱,已率先在Model 3中集成全碳化硅模块,其他一线车企亦皆计划扩大碳化硅的应用。随着碳化硅器件制造成本的日渐降低、工艺技术的逐步成熟,碳化硅功率器件行业未来可期。相关标准如下,

标准号标准名称
CASA 001-2018碳化硅肖特基势垒二极管通用技术规范
CASA 003-2018p-IGBT器件用4H-SiC外延晶片
CASA 004.1-20184H-SiC衬底及外延层缺陷 术语
CASA 004.2-20184H-SiC衬底及外延层缺陷 图谱
CASA 006-2020碳化硅金属氧化物半导体场效应晶体管通用技术规范
CASA 007-2020电动汽车用碳化硅(SiC)场效应晶体管(MOSFET)模块评测规范
CASA 009-2019半绝缘SiC材料中痕量杂质浓度及分布的二次离子质谱检测方法
T/IAWBS 013-2019半绝缘碳化硅单晶片电阻率非接触测量方法
T/IAWBS 012-2019碳化硅单晶抛光片表面质量和微管密度测试方法-共焦点微分干涉光学法
T/IAWBS 011-2019导电碳化硅单晶片电阻率测量方法-非接触涡流法
T/IAWBS 010-2019碳化硅单晶抛光片表面质量和微管密度检测方法-激光散射检测法
T/IAWBS 008-2019SiC晶片的残余应力检测方法
T/IAWBS 007-20184H碳化硅同质外延层厚度的红外反射测量方法
T/IAWBS 006-2018碳化硅混合模块测试方法
T/IAWBS 005-20186英寸碳化硅单晶抛光片
T/IAWBS 003-2017碳化硅外延层载流子浓度测定汞探针电容-电压法
T/IAWBS 002-2017碳化硅外延片表面缺陷测试方法
T/IAWBS 001-2017碳化硅单晶
DB13/T 5118-2019  4H碳化硅N型同质外 延片通用技术要求
DB61/T 1250-2019  SiC(碳化硅)材料半导体分立器件通用规范
GB/T 32278-2015  碳化硅单晶片平整度测试方法
GB/T 30867-2014  碳化硅单晶片厚度和总厚度变化测试方法
GB/T 30868-2014  碳化硅单晶片微管密度的测定 化学腐蚀法
SJ/T 11501-2015  碳化硅单晶晶型的测试方法
SJ/T 11503-2015  碳化硅单晶抛光片表面粗糙度的测试方法
SJ/T 11504-2015  碳化硅单晶抛光片表面质量的测试方法
SJ/T 11502-2015  碳化硅单晶抛光片规范
SJ/T 11499-2015  碳化硅单晶电学性能的测试方法
SJ/T 11500-2015碳化硅单晶晶向的测试方法
GB/T 31351-2014碳化硅单晶抛光片微管密度无损检测方法
GB/T 30656-2014碳化硅单晶抛光片
GB/T 30866-2014碳化硅单晶片直径测试方法

氮化镓(SiC)

氮化镓,是氮和镓的化合物,是一种直接能隙的半导体,自1990年起常用在发光二极管中。此化合物结构类似纤锌矿,硬度很高。氮化镓的能隙很宽,为3.4电子伏特,可以用在高功率、高速的光电元件中,例如氮化镓可以用在紫光的激光二极管,可以在不使用非线性半导体泵浦固体激光器的条件下,产生紫光(405nm)激光。GaN材料系列具有低的热产生率和高的击穿电场,是研制高温大功率电子器件和高频微波器件的重要材料。目前,随着 MBE技术在GaN材料应用中的进展和关键薄膜生长技术的突破,成功地生长出了GaN多种异质结构。用GaN材料制备出了金属场效应晶体管(MESFET)、异质结场效应晶体管(HFET)、调制掺杂场效应晶体管(MODFET)等新型器件。

标准号标准名称
CASA 010-2019GaN材料中痕量杂质浓度及分布的二次离子质谱检测方法
T/IAWBS 013—2019半绝缘碳化硅单晶片电阻率非接触测量方法
T/GDC 69—2020氮化镓充电器
GB/T 39144-2020 氮化镓材料中镁含量的测定 二次离子质谱法
GB/T 37466-2019氮化镓激光剥离设备
GB/T 37053-2018 氮化镓外延片及衬底片通用规范
GB/T 36705-2018 氮化镓衬底片载流子浓度的测试 拉曼光谱
GB/T 32282-2015 氮化镓单晶位错密度的测量 阴极荧光显微镜
GB/T 32189-2015 氮化镓单晶衬底表面粗糙度的原子力显微镜检验法
GB/T 32188-2015 氮化镓单晶衬底片x射线双晶摇摆曲线半高宽测试方法
GB/T 30854-2014 LED发光用氮化镓基外延片

蓝宝石(Al2O3

      蓝宝石晶体属于人造宝石晶体,主要应用于制作LED灯的关键材料,也是应用于红外军事装置、卫星空间技术、高强度激光的重要窗口材料。蓝宝石晶体是一种氧化铝的单晶,又称为刚玉。蓝宝石已成为一种重要的半导体衬底材料。

标准号标准名称
SJ/T 11505-2015  蓝宝石单晶抛光片规范
GB/T 35316-2017  蓝宝石晶体缺陷图谱
GB/T 34612-2017  蓝宝石晶体X射线双晶衍射摇摆曲线测量方法
GB/T 34504-2017  蓝宝石抛光衬底片表面残留金属元素测量方法
GB/T 34213-2017  蓝宝石衬底用高纯氧化铝
GB/T 34210-2017  蓝宝石单晶晶向测定方法
GB/T 33763-2017  蓝宝石单晶位错密度测量方法
SJ/T 11505-2015  蓝宝石单晶抛光片规范
GB/T 31353-2014  蓝宝石衬底片弯曲度测试方法
GB/T 31352-2014  蓝宝石衬底片翘曲度测试方法
GB/T 31093-2014  蓝宝石晶锭应力测试方法
GB/T 31092-2014  蓝宝石单晶晶锭
GB/T 30858-2014  蓝宝石单晶衬底抛光片
GB/T 30857-2014  蓝宝石衬底片厚度及厚度变化测试方法
DB44/T 1328-2014  蓝宝石图形化衬底片测试技术规范
GB/T 14015-1992  硅-蓝宝石外延片

其他标准

第三代半导体被广泛的应用于IGBT功率器件中和发光材料中,对此,我们盘点了宽禁带半导体、功率器件和光电子器件标准。

标准号标准名称
CASA 002-2021宽禁带半导体术语
T/IAWBS 004-2017电动汽车用功率半导体模块可靠性试验通用要求及试验方法
T/IAWBS 009-2019功率半导体器件稳态湿热高压偏置试验
GB/T 29332-2012半导体器件 分立器件 第9部分:绝缘栅双极晶体管(IGBT)
GB/T 36360-2018  半导体光电子器件 中功率发光二极管空白详细规范
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GB/T 36357-2018  中功率半导体发光二极管芯片技术规范
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SJ/T 11398-2009  功率半导体发光二极管芯片技术规范
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SJ/T 11393-2009  半导体光电子器件 功率发光二极管空白详细规范现行
SJ/T 1826-2016  半导体分立器件  3DK100型NPN硅小功率开关晶体管详细规范
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SJ/T 1839-2016  半导体分立器件 3DK108型NPN硅小功率开关晶体管详细规范
SJ/T 1833-2016  半导体分立器件 3DK103型NPN硅小功率开关晶体管详细规范
SJ/T 1831-2016  半导体分立器件 3DK28型NPN硅小功率开关晶体管详细规范现行
SJ/T 1830-2016  半导体分立器件 3DK101型NPN硅小功率开关晶体管详细规范
SJ/T 1838-2016  半导体分立器件 3DK29型NPN硅小功率开关晶体管详细规范
SJ/T 1832-2016  半导体分立器件 3DK102型NPN硅小功率开关晶体管详细规范
IEC 60747半导体器件
QC/T 1136-2020  电动汽车用绝缘栅双极晶体管(IGBT)模块环境试验要求及试验方法
JB/T 8951.1-1999  绝缘栅双极型晶体管
JB/T 8951.2-1999  绝缘栅双极型晶体管模块 臂和臂对

需要注意的是,CASA和IAWBS属于团体标准、GB属于国家标准、DB是地方标准。仪器信息网为了更好地服务半导体行业用户,特邀请您参与问卷调研,麻烦大家动动小手完成问卷,参与即得10元话费!活动结束还将择优选择10名认真填写用户送出50元话费!!!http://a72wfu5hktu19jtx.mikecrm.com/zuXBhOy

第三代半导体材料与器件相关标准盘点