上海市集成电路新政：将加大对自主安全可控装备材料支持力度

1月19日，上海市人民政府发布《关于新时期促进上海市集成电路产业和软件产业高质量发展的若干政策》（以下简称《若干政策》），明确了六方面共计25项政策。（政策链接：《上海市人民政府关于印发新时期促进上海市集成电路产业和软件产业高质量发展若干政策的通知》）

《若干政策》提出了六项人才支持政策，包括优化研发设计人员和企业核心团队奖励政策、加大境外高端紧缺人才扶持力度、支持企业引进人才、加强企业人才住房保障、加强高校人才培养能力建设和建立软件人才职业资质认证与职业能力评价衔接机制。

《若干政策》提出了三项企业培育支持政策，包括加大专项资金支持力度、加强集成电路中小设计企业产能保障和优化软件创新平台培育机制。

《若干政策》提出了四项投融资支持政策，包括继续扩大集成电路产业基金规模、创新信贷支持和软件行业融资方式、支持保险机构参与集成电路产业发展和支持集成电路和软件企业融资担保服务。

《若干政策》提出了六项研发和应用支持政策，包括布局重点领域科技重大专项、优化集成电路产品首轮流片政策、加大对自主安全可控装备材料的验证和应用支持力度、实施EDA生态建设专项行动、优化软件首版次和装备首台套等应用政策以及加强行业标准建设。

《若干政策》提出了三项长三角协同创新支持政策，包括建立协同攻关“揭榜挂帅”机制、支持长三角区域集成电路装备行业联动发展和举办长三角软件算法、信息技术应用创新和EDA大赛。

《若干政策》提出了三项行业管理支持政策，包括优化集成电路项目投资管理制度、加快建设上海电子化学品专区和持续实施进出口便利和贴息政策。

值得注意的是，在研发和应用支持政策中明确提出要加大对自主安全可控装备材料的验证和应用支持力度，对本市集成电路产线和中试线为本市集成电路首台套装备、首批次新材料验证服务的，给予一定研发补贴。其中，单台装备验证最高不超过100万元，每批材料验证最高不超过50万元。将支持自主安全可控装备材料应用与验证作为本市新建集成电路产线项目获得政府资金支持的基本条件，其中自主安全可控集成电路装备材料产品采购比例不低于政府支持资金的30%，具体比例根据实际情况动态调整。

此举将对我国集成电路仪器设备的发展带来强大动力。上海市是我国集成电路产业的重要引擎。经过多年的发展，上海集成电路产业已形成了集设计、制造、封测、材料、装备及其他配套、服务于一体的完整集成电路产业链，是国内集成电路产业链相对最为完整，也是产业结构最均衡的城市。

但一直以来我国集成电路产业对进口设备依赖严重，代工企业基于风险考量等而谨慎考虑引入国产设备。国产设备难以进入产线进而导致难以获取用户需求、反馈和研发资金来反哺技术研发，最终形成恶性循环。究其原因，集成电路产业对设备可靠性和稳定性依赖严重且新设备验证周期长，新设备导入难度大，而国外凭借先发优势率先进入产线，晶圆厂更愿意采用经过市场和产线验证的进口设备。但贸易战以来，集成电路设备进口遭遇巨大阻力和卡脖子，实现自主可控的装备研发迫在眉睫。

藉由上海地区对首台套装备的支持，直接的资金鼓励将使得晶圆厂有更大动力推进国产先进设备的产线引入和验证，加强集成电路领域的仪器设备自主可控。