投资122亿元，中芯国际扩建项目新安装使用24台离子注入机
导读：近日，中芯国际扩建项目芯片新安装使用24台离子注入机（最大能量2900KeV；最大电压1500KV，最大电流20MA，数量24台）。
近日，千里马招标网公布了中芯国际集成电路制造（天津）有限公司24台离子注入机应用项目信息。
千里马招标网截图
信息显示，项目建设地点位于天津市直辖市西青区西青开发区兴华道19号，占地面积16800平方米，由中芯国际集成电路制造（天津）有限公司建设，项目投资1222000万元，其中环保投资36719万元。
千里马招标网截图
本次项目建设内容为扩建项目芯片离子注入车间使用离子注入机。项目将新安装使用24台离子注入机（最大能量2900KeV；最大电压1500KV，最大电流20MA，数量24台）。
来源于：仪器信息网
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