“卡脖子”？岛津VOCs检测方案助您打造芯片生产的洁净安全舱

导读

《科技日报》曾报道的35项“卡脖子”技术清单中，芯片作为中国的心病，位列于光刻机之后，排名第二位。自此，解决“卡脖子”，生产制造高性能芯片引发持续关注。目前，网络媒体有报道，国外先进的芯片量产精度为5纳米，我国只有12纳米，尚存在一定的差距。如今，在芯片的生产工艺过程中，高等级洁净度的无尘车间对芯片的生产至关重要。细菌、静电、粉尘、有害气体等均会直接影响到芯片的质量与寿命，其中挥发性有机物（VOCs）就是重要的有害物之一。现在，岛津带来VOCs检测方案，为您打造芯片生产的洁净环境助力！

VOCs的定义

VOCs（volatile organic compounds）即挥发性有机物，不同国家和组织给出的定义不同，我国环保部2014年给出的定义：VOCs是指在标准状况下，饱和蒸气压较高、沸点较低、分子量小、常温常压下易挥发的有机化合物，包括烷烃、芳香烃、氯代烃、醛类、酮类等。

VOCs对芯片的危害

无尘车间是指将一定空间范围内的空气微粒子、有害空气、细菌等污染物排除，并将室内温度、洁净度、气流分布和静电等控制在某一范围内的房间。好的无尘车间不仅能节省能源、降低运行成本、降低人力投入，而且可以给生产提供安全可靠的保证。

芯片生产过程中对于生产环境的空气洁净度非常挑剔，就算是一粒小小的粉尘，粘在芯片上都可能造成短路，进而直接影响成品率。粉尘的危害尚且如此，空气中的VOCs就更不用说了。因此对芯片生产车间（即无尘车间）内VOCs 的检测是非常有必要的。

要创造高洁净度的空气环境，得通过什么手段来实现空气环境检测呢?

无尘车间VOCs监测方案

无尘车间VOCs检测主要依据环境标准HJ759《环境空气 挥发性有机物的测定 罐采样/气相色谱-质谱法》，采用大气浓缩仪+GCMS进行测定。首先将采样罐放置到无尘车间的采样点，待样品采集完毕，将采样罐连接到大气浓缩仪自动进样装置上，样品中的VOCs经大气浓缩仪除H2O、CO2、N2、O2后富集进入GCMS进行测定。

大气浓缩仪+GCMS-QP2020 NX

岛津GCMS-QP2020 NX 气相色谱质谱仪搭载超强高效双涡轮分子泵，每秒抽速达400 L，可以短时间实现高真空，助力高效分析。同时GCMS-QP2020 NX 具有良好的兼容性，可以和不同类型的大气浓缩仪（液氮制冷型、电子制冷型、吸附剂型、低温与吸附剂混合型）进行联机，对无尘车间的VOCs进行检测。

当取样体积400 mL，64种VOCs检出限为0.007-0.171 µg/m³（检出限按照3倍信噪比计算方式得到），满足无尘车间VOCs检测需求。

64种 VOCs标准气体和3种内标气体色谱图

（10 nmol/mol）

64种VOCs组分检出限

不同场所VOCs检测方案

目前岛津公司已经开发了多套环境空气中VOCs检测方法，可以满足不同场所（城市环境空气、企业厂界边界等）VOCs离线或在线监测的需求，详见环境空气中挥发性有机物检测方案。

结语

为了减少VOCs对芯片生产的影响，芯片生产车间-无尘车间VOCs组分的检测受到越来越多的关注，岛津公司始终秉承“为了人类和地球的健康”的经营理念，开发了空气VOCs检测方案，致力从源头上解决无尘车间内VOCs检测问题，为芯片的生产环境保驾护航。

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