663万！华东师范大学反应离子束刻蚀系统、感应耦合等离子体增强化学气相沉积系统项目

项目编号：0773-2240SHHW0019

项目名称：华东师范大学反应离子束刻蚀系统、感应耦合等离子体增强化学气相沉积系统项目

预算金额：663.0789000 万元（人民币）

最高限价（如有）：663.0789000 万元（人民币）

采购需求：

项目名称：华东师范大学反应离子束刻蚀系统、感应耦合等离子体增强化学气相沉积系统项目

包件1：反应离子束刻蚀系统；

数量及单位：1台；

简要技术参数：

3、等离子体源

3.1、射频发生器：最大功率300瓦，13.56MHz，带自动匹配单元；

★3.2、ICP源发生器：最大功率3000瓦，2.0MHz，带自动匹配单元；

包件2：感应耦合等离子体增强化学气相沉积系统；

数量及单位：1台；

简要技术参数：

★1、SiO2的标准沉积速率：≥40 nm/min；高速沉积速率：≥500 nm/min

2、SiO2薄膜沉积厚度：≥6um。

其余详见本项目招标文件。

合同履行期限：自合同签订之日起250天内；

本项目( 不接受  )联合体投标。