310万！清华大学场发射扫描电子显微镜采购目

项目编号：清设招第2021493号

项目名称：清华大学场发射扫描电子显微镜

预算金额：310.0000000 万元（人民币）

采购需求：

设备用途介绍 ：场发射扫描电子显微镜能够对各种类型的材料样品表面微观结构进行超高分辨率成像观察，获取样品表面微观结构形貌信息、成分衬度信息。低电压条件下，无需镀膜可直接高分辨观察金属材料、薄膜类材料等样品。

简要技术指标 ：

1）无样品台减速模式下多边统计法测试得到的二次电子分辨率：≤0.7nm@15kV，≤1.2nm@1kV；最低加速电压和着陆电压均≤20V，最高加速电压和着陆电压均≥30kV，加速电压以10V为步进连续可调；

2）放大倍率：可调节范围优于10~2,0000,000倍，根据加速电压和工作距离的改变，放大倍数可自动校准，低倍率与高倍率之间无需模式更换；

3）配置样品室内二次电子探测器，镜筒内无偏压环形超高分辨二次电子探测器。

合同履行期限：交货时间：合同签订后6个月内。