8253万元预算！中科院苏州纳米所2022年仪器采购意向盘点

中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所（以下简称“苏州纳米所”）近日在中国政府采购网上发布2022年仪器采购意向，总采购预算高达8253万元，拟采购仪器品类包括HF/XeF2气相刻蚀设备、MBE-原位生长动力学研究设备、常压金属有机物化学气相沉积设备、超高真空管道、磁控溅射设备、低温强磁场综合物性测试设备、电子束蒸发台、多源有机蒸发镀膜设备、镜面反射吸收红外-程序升温脱附设备（原位红外吸收光谱）、镜面反射吸收红外-程序升温脱附设备（原位红外吸收光谱）-真空腔体、临时键合解键合机、脉冲激光沉积设备、湿氧氧化炉、原位Mask器件级图案化分子束外延设备、原位扫描电子显微镜、原位扫描电子显微镜-真空腔体、真空解离与钝化设备、准原位光谱系统。预计采购时间在2022年6月、10月和12月。其中12月采购仪器最多，拟采购15台（套）仪器；而6月和10月将分别采购2台（套）仪器和1台（套）仪器。从仪器采购需求上看，多数拟采购仪器应用于半导体研究领域。

苏州纳米所由中国科学院与江苏省人民政府、苏州市人民政府和苏州工业园区于2006年共同创建，定位于纳米技术的应用基础研究和产业化，前瞻布局了电子信息、纳米材料、生物医学等重点研究领域，建设了纳米真空互联实验站、纳米加工平台、测试分析平台、生化平台4个集科研攻关与公共服务于一体的公共技术平台；密切围绕重点攻关领域，产出了一批原创性科技成果，自主研发了一系列仪器设备，形成了具有自身特点的科研体系。

中科院苏州纳米所2022年仪器采购意向