应对电镜振动解决方案——AMETEK TMC STACIS® III Quiet Island®

透射电子显微镜是世界上对振动最敏感的仪器之一，它容易受到建筑物地板振动的影响，从而影响透射电镜高分辨性能。

2014 年，美国俄勒冈健康与科学大学 (OHSU) 的多尺度显微镜核心扩展了其联合生命科学大楼，以纳入先进的 TFS Titan Krios 低温透射电子显微镜。

图片来源：俄勒冈健康与科学大学 (OHSU)

建筑活动和车辆交通会导致建筑地板振动水平显着增加。最近关乎仪器性能的最大担忧之一，就是附近一座桥梁即将建设和开通。

此外，Titan Krios对噪音也很敏感。TEM的柱被隔音罩包围，从而减少了声波对 TEM 的影响。当地板振动时，大型机柜会将声波耦合到TEM的支撑平台，因此将外壳与立柱分离至关重要。

解决方案 – TMC STACIS® III Quiet Island®

STACIS III 包括新颖的串行设计和专有的高力压电技术，具有在2 Hz 开始减少 90% 的惯性主动振动和0.6 Hz 到150 Hz宽的有源带宽。

与主动空气系统不同，STACIS 没有软悬架，自然兼容 Titan Krios 的内部主动空气隔离系统，每个系统都经过全面优化。

TMC 开发了 Titan Krios 独有的两部分嵌套式Quiet Island，包括一个支撑柱子的内部 STACIS Quiet Island和一个分离及支撑隔音罩的外部刚性Quiet Island“环”。

STACIS Quiet Island 是一种使用地点解决方案，可在设计和规划实验室设施和流程时提供更大的灵活性并节省资金。

安装工具后测量的水平（顶部）和垂直（底部）隔振性能

图片来源：TMC 振动控制

总结

STACIS Quiet Island似乎恰如其名。“我们旁边的一座桥开放了，火车、公共汽车和街车全天经过，我们没有遇到任何问题，这太棒了！”OHSU 多尺度显微镜核心管理 Claudia López 博士说。

技术制造公司（Technical Manufacturing Corporation）振动控制

TMC 的精密地板隔振系统产品线范围从简单的桌面隔振显微镜底座到任何尺寸的光学顶端，再到具有压电致动器和数字控制器的复杂主动惯性减振系统。

他们最近的创新包括 STACIS 2100、STACIS® iX SEM-Base™、STACIS® iX Stage-Base™、STACIS® iX LaserTable-Base™ 和 Mag-NetX™ 磁场消除系统。

TMC 是精密地板隔振技术的领导者。他们的客户包括主流研究中心、OEM 和终端用户半导体制造商、大学研究实验室、药物研发公司和纳米技术实验室。

除了少数的例外，他们的产品线都是在 TMC 设计和制造的。通过垂直集成制造，他们可以快速经济高效地制造复杂的机械结构。

曲解规格和质量顾虑不会发生。他们的许多产品都是为 OEM 和终端用户定制的。在 TMC 制造一切的主要优势之一是 3D 工程模型等工具可以直接进入工厂车间，而不会出现失误和延误。

TMC 现在是 AMETEK 的一部分，AMETEK 是全球领先的电子仪器和机电设备制造商。 TMC 加入 AMETEK，成为 AMETEK EIG 超精密技术部门的一部分。

Ultra Precision Technologies 是开发超精密测量仪器的先驱，也是半导体、光伏、纳米技术、军事、国防和眼科镜片市场的超精密机床和制造系统的全球领导者。

AMETEK, Inc. 是全球领先的电子仪器和机电设备制造商。 AMETEK 拥有大约 11,600 名同事，在美国和世界各地的 100 多个制造工厂和 100 多个销售和服务中心工作。

虽然现在是 AMETEK 的一部分，他们仍然是 TMC。同一地点的同一个人致力于设计和制造最先进的商用精密地板隔振系统。